论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微纳电子技术期刊 >
微纳电子技术2016年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
分享
投稿
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
分享
文章浏览
目录
-
61. 杯型MEMS矢量水听器的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 由于当前四梁纤毛式MEMS矢量水听器的灵敏度与带宽之间相互制约,要想提高水听器的灵敏度往往需要以大幅牺牲带宽为代价,针对此问题提出了杯型矢量水听器,在大幅提高水听器灵敏度的同时仍具有一定的带...
-
62. MEMS微发火器件研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 首先分析了国内外关于微电子机械系统(MEMS)微发火器件的研究报道;接着从与MEMS微加工工艺兼容性、发火输出、安全性等角度对比了装药型微发火器件、爆炸箔基微发火器件、多孔硅基微发火器件、含...
-
63. 一种MEMS高温压力传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器.为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 提出了一种基于Hertz模型的最优化方法,并研究了不同质量浓度(0,50,100,150和200μg/mL)的白藜芦醇培养36 h后的乳腺癌细胞(MCF-7)的杨氏模量和能量耗散变化情况.实...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： HfO2是一种很有应用前景的高k栅介质材料,稀土元素掺杂可以有效改进HfO2的性能.采用磁控溅射方法制备了Ge基HfGdO薄膜,即HfGdO/Ge异质结.X射线衍射结果显示这种方法制备的薄膜...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 对于GaAs/Ge反向畴(APD)的表征,常用的测试方法是扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)等,这些方法都存在局部表征所带来的测试误差问题.为此引入了...
-
67. 最大熵对迁移率谱中映像峰的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 通过传统的迁移率谱分析技术获得的半导体异质结构的迁移率谱中经常存在映像峰,这些峰无实际的物理意义,却能降低真实载流子电学参数的精确度.提出一种最大熵法计算电导密度函数(迁移率谱)的优化方法,...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年6期页码:摘要： 以正硅酸乙酯(TEOS)为硅源,采用改进的Stober法(在反应体系中添加电介质NaCl),获得了260～960 nm尺寸的亚微米SiO2颗粒,通过扫描电镜(SEM)对其球形度、单分散性等进...
-
69. 可穿戴设备续航能力研究的新进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 分析了可穿戴设备的现状和发展中存在的问题,并指出制约可穿戴设备发展最重要的因素——续航能力.总结了续航能力研究的两个主要方向,一是电池技术的创新,阐述了通过寻找新电极和电解质材料研究新型电池...
-
70. 有机太阳电池结构设计研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 基于有机太阳电池结构的发展,首先对四种典型有机太阳电池器件结构和工作原理进行介绍和分析,即单层肖特基型太阳电池、双层异质结太阳电池、本体异质结太阳电池和叠层太阳电池.太阳电池的微电子和光子结...
-
71. 三维磁性光子晶体的研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 作为三维光子晶体中一个新的研究方向,三维磁性光子晶体(3D-MPC)因其独特的磁光性质而备受关注.概述了3D-MPC的研究进展.根据微观结构,介绍了四种3D-MPC的制备方法及其性能.对于3...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 射频(RF)滤波器在4G移动通信(如Band 40波段)中具有广泛应用.描述了基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的RF滤波器的设计和制作方法.体声波滤波器是由FBAR以T型结构级联的方式实...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 针对典型梳齿式静电微驱动器驱动稳定性差的问题,建立微驱动器驱动稳定性分析模型,系统分析微驱动器驱动稳定性随其各结构参数的变化关系,提出基于稳定性因子的微驱动器驱动稳定性评估方法.提出弹性支撑...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 谐振式光学陀螺中,利用三角波调制会引入过冲量,对陀螺的输出精度影响极大.对采用三角波调制技术对光电探测器输出方波信号的影响进行了理论推导及仿真,分析表明高次谐波是产生过冲噪声的主要因素.设计...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 制备了用于粒子分离的集成阵列叉指电极介电泳微流控芯片,该芯片由以玻璃为基底的氧化铟锡(ITO)电极以及聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流通道构成.采用该芯片测定了聚苯乙烯微球在电导率为1 μS/...
-
76. MEMS加速度计的误差补偿方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 温度误差和非线性误差是影响MEMS加速度计精度、限制其应用领域的两个重要因素.研究了国内外MEMS加速度计误差补偿方法,分析了MEMS加速度计的温度误差和非线性误差来源.为了消除一款50g量...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 介绍了一种用于太赫兹频段的矩形波导腔的设计和加工工艺.利用Comsol Multiphysics软件对射频器件中心频率为0.4 THz时,横电波(TE10波)在矩形波导腔中的传播进行了仿真....
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 报道了一种用于技术节点为28 nm的集成电路多层铜互连阻挡层化学机械平坦化(CMP)的弱碱性抛光液(pH值为8.5),仅由平均粒径为20 nm的硅溶胶、FA/O多羟多胺螯合剂及非离子表面活性...
-
79. 铝栅碱性CMP的析氢腐蚀刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 采用碱性抛光液对铝栅进行化学机械抛光(CMP),在pH值大于8.3时会发生析氢反应,表面产生氢气泡,在铝栅表面留下大量蚀坑缺陷,降低平坦化效果,严重影响芯片器件性能的完整性和可靠性.对铝栅在...
-
80. CdS籽晶扩大技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年7期页码:摘要： 采用物理气相传输(PVT)法制备大尺寸硫化镉(CdS)籽晶,通过调整源区与生长区温差进行了籽晶扩大实验,并进行了X射线衍射(XRD)、红外透过率和腐蚀坑密度等测试.研究表明,在15,10,5...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 基于量子元胞自动机(QCA)电路,通过贝叶斯网络(Bayesian network,BN)对7种不同的传输线建模,研究了基本传输线的输出正确率随温度的变化规律.另外,通过概率转移矩阵(PTM...
-
82. 可延展结构性基底力学特性分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 简单介绍了可延展柔性电子互连结构的结构、力学等特性以及实现可延展柔性电子互连结构延展性的方法.从结构设计和力学特性等方面对可延展柔性电子互连结构进行了分析.针对目前可延展柔性电子互连结构在实...
-
83. MEMS负电晕放电气体传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器.研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120...
-
84. 微型化钴基薄带中的巨磁阻抗效应刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 采用键合、光刻和电镀等微机电系统(MEMS)微细加工技术制备了不同结构的微型化Co基薄带.微型化Co基非晶薄带采用VACUUMSHMELZE公司生产的VC6025Z型材料,其结构设计为曲折型...
-
85. MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键.针对开展MEMS微观摩擦磨损研究...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 环境振动能量收集装置替代传统化学电池为低功耗系统供能具有诸多优点,分析表明其输出功率仅在谐振状态输出高电能,受环境频变影响较大.拓宽采集设备谐振频带、匹配环境随机振动频率对提高输出功率更具实...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 介绍了一种低成本自适应的微机电系统(MEMS)陀螺温度补偿方法.基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因.研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于At...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si3 N4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布.先利用ANSYS有限元软件分析探针Si3N4弹性薄膜的厚度和面积...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 采用溶剂热合成技术,以乙醇为溶剂,以氯化锌、氯化亚锡、氯化铜和硫脲为反应剂,以草酸为还原剂,以十六烷基三甲基溴化铵为阳离子表面活性剂,直接在透明导电玻璃(FTO)衬底上制备Cu2ZnSnS4...
-
90. 光学石英玻璃CMP抛光液的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 针对光学石英玻璃在表面化学机械抛光(CMP)过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题,提出了采用低抛光压力和低磨料体积分数的CMP方法.机械作用是引起表面及亚表面损伤的关键因素,低抛光压...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
