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微纳电子技术2018年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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61. Cu2O颗粒的制备及其吸附性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 通过液相还原法制备了Cu2O颗粒,利用扫描电子显微镜(SEM)以及 X射线衍射(XRD)等手段对粒径的大小、微结构以及组分进行了测试和分析.测试结果表明:Cu2O颗粒为组分单一、表面含有大量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 为了减小纳米压印光刻胶与模板间的接触黏附力,合成了一种无氟抗粘巯基-烯纳米压印光刻胶.以Α,Α,Α′-三(4-羟苯基)-1-乙基-4-异丙苯(TPA)和溴丙烯为原料,采用相转移催化法制备了一...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 设计并制备了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料、量程为5 Pa～1.8 MPa的压阻式压力传感器.在设计方面,通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能,得到敏感膜片的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 温度变化会在氧化硅光波导谐振腔中引起极化误差,该极化误差所引起的偏振波动噪声是限制谐振式集成光学陀螺长期稳定性的主要因素.通过对反射式和透射式两种结构的谐振腔分别进行主动温控实验,成功测得了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 基于半导体硅的压阻效应,研制了一种 MEMS大量程压力传感器.为了实现大量程压力测量,采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片.利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计....
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66. 原子层沉积制备氮化钛薄膜及其表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 宽禁带半导体TiN作为扩散阻挡层以及场效应管的门电极在集成电路中发挥重要作用.通过原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)技术沉积不同循环次数TiN薄膜,采用四探...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 主要研究了硅衬底碱性精抛液中表面活性剂对硅衬底表面粗糙度、表面缺陷以及抛光雾的影响.实验结果表明,随着硅衬底精抛液中表面活性剂体积分数由0％增加到1％,表面粗糙度和表面缺陷数量都呈现出迅速降...
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68. 仿生增材制造刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 仿生增材制造(仿生3D打印)是指受到生物结构和功能的启发而设计出具有仿生结构和功能的三维图形的一种新技术,采用增材制造工艺加工而成的构件具有特殊的仿生性能.结合现有的研究进展,从形态仿生、结...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 针对β-Ga2O3单晶易解理的特性,研究了晶体形状对其(100)主解理面的机械剥离影响.结果表明,棱角较为平缓的体单晶机械剥离时容易出现碎裂,而棱角尖锐的体单晶极易实现机械剥离,并且成功剥离...
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70. 钨酸锰纳米线的水热法制备与表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 以MnCl2,MnC2O4和Na2WO4为反应前驱体,以KOH为矿化剂,在没有采用任何表面活性剂和模板的条件下,采用水热法成功制备出 MnWO4晶体.用X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 设计了一种Si基片上的A1线栅偏振器,在Al线栅和Si基片间引入一层低折射率SiO介质层,适用于3.0～5.0μm的中波红外波段.采用有限时域差分(FDTD)方法,对SiO介质层和金属线栅材...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 为了解决金纳米颗粒在构建金属流体时存在的紫外-蓝光波段吸收较弱的问题,提出可采用由种子生长法制备的金核银壳纳米棒,该结构可将金纳米棒的局域表面等离激元共振(LSPR)移向紫外-蓝光波段,在有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 阳极氧化钛箔合成高度有序的TiO2纳米管阵列.通过电化学自掺杂的方法对原始TiO2纳米管阵列电极进行改性,研究了不同掺杂条件对TiO2纳米管阵列电极电化学性能的影响,探索了电化学自掺杂的最佳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 以葡萄糖为前驱体、柠檬酸镁为模板,先预碳化再结合KOH活化制备高性能多孔碳电极材料.通过扫描电子显微镜(SEM)研究掺杂柠檬酸镁前后样品的形貌结构,发现通过柠檬酸镁模板法制备的活性碳孔径分布...
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75. 基于PDMS的柔性可穿戴微带天线刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 提出了一种新型柔性微带天线,具有结构简单、质量轻、易共形和可穿戴的功能,且易于与衣物集成.该天线是以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质基底,以金属镍为辐射贴片,将镍覆于介质基底两侧,设...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 传统透射电子显微镜(TEM)观察液态样品特征时,通常将其先速冻成固态,而原位TEM可以动态地观察液态样品的变化,避免了一些额外因素的影响.设计了一款基于微机电系统(MEMS)技术的非流动原位...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 谐振式光学陀螺(ROG)是以谐振腔为基础的角速度传感器件,因此其受到光学谐振腔性能的制约.当光学谐振腔中不存在增益补偿机制时,由于谐振腔制备材料的固有属性,光在光学谐振腔中的损耗仍然是阻碍谐...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 谐振式MEMS陀螺仪在随机振动中会发生性能退化,主要表现形式为噪声增大、零偏变化及标度因数降低.研究了陀螺仪的振动模态,发现当正交耦合和电容不对称时,检测模态及检测同相模态极易被激发.被激发...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 由于单层WS2薄膜转移技术的限制,使基于WS2的固态纳米孔精确构筑成为了技术难题,限制了WS2等新型二维材料在固态纳米孔DNA测序领域的应用.在可控生长WS2单层薄膜的基础上,以在SiO2/...
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80. 电镀镍磷层及其在薄膜剥离中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 利用柔性压电薄膜为能量采集器供电在微电子机械系统(MEMS)领域应用越来越广泛,通过电镀应力层剥离制备薄膜是近年来广受关注的一种方法.通过在氯化镍电镀液中加入不同质量浓度的磷离子和控制不同的...
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81. 纳米银导电墨水的制备及烧结刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 通过液相化学还原法制备了纳米银颗粒,纯化后通过X射线衍射(XRD)和能量色散谱(EDS)分析证明得到了结构完整、较为纯净的纳米银颗粒.将其制备为纳米银导电墨水,墨水的粒度分布窄、平均粒径约为...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年7期页码:摘要： 针对目前四甲基氢氧化铵(TMAH)湿法腐蚀工艺制备微台面结构工艺可控性差、需要添加添加剂、溶液使用周期短及工艺维护繁琐、无法实现大尺寸晶圆工程化应用等问题,研究了无添加剂时,微台面的腐蚀形貌...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 隧穿场效应晶体管(TFET)在低功耗领域具有很好的应用前景,以优化新型准一维TFET为目的,通过数值仿真研究了以石墨烯纳米带(GNR)为沟道材料的准一维TFET以及受器件尺寸和掺杂浓度控制的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 有机-无机杂化钙钛矿太阳电池(PSC)因其效率高、成本低及制备工艺简单等优点而得到广泛的关注.采用无机材料替代有机空穴传输材料可以进一步降低电池成本,拓宽钙钛矿太阳电池空穴传输材料的选择范围...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 首先,采用光刻技术并结合湿法刻蚀工艺,在玻璃衬底上制备出蜂窝状分布的圆台阵列微结构,从占空比和反射、透射光线分布的角度分析其光学性能.然后,采用水热法制备银纳米线,并对样品进行X射线衍射(X...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 由于纳米尺度流道加工过程中存在工艺复杂、效率低等缺点,限制了微纳流控芯片在纳米尺度下流体特性研究领域的应用.针对此问题,提出利用氮化硼纳米管作为纳流道集成到微纳流控芯片中的方法,并对芯片的离...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 针对0～0.3 N压力的大小与分布测试,设计了一款电容式压力传感器.通过ANSYS仿真与Matlab数据分析,确定传感器单个敏感单元半径为80μm,腔高0.5μm,膜厚2.5μm.阵元内敏感...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 为了获得高性能、较低成本的压电微驱动器,设计了悬臂梁式压电微驱动器.利用压电性能优良的块材压电陶瓷(PZT)材料和硅(Si)基板通过共晶键合工艺接合,结合硅片切割、PZT减薄和激光烧蚀及硅的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器.该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年8期页码:摘要： 以电渗透流原理为理论基础,建立二维十字通道几何模型,推导出电力聚焦流理论模型.在3个入口流速一定的前提下,中心聚焦流的宽度与入口处的电压比呈一定关系,成功地预测了聚焦流的宽度.随后以COMS...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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