学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
热门 论文降重
免费 免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航

微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
文章浏览
热门刊内文献
年度刊次
目录
  • 121. Si(110)衬底上Ⅲ族氮化物薄膜的研究进展
    作者： 吴世翀 林国涛 符跃春 翁瑶
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  789-794
    摘要： Si(110)衬底与Ⅲ族氮化物独特的取向关系使AlN和GaN薄膜的外延生长及其LED器件受到广泛关注.详细分析了A1N和GaN薄膜与Si(110)衬底的取向关系,指出了薄膜与Si(110)衬...
  • 122. 基于微硅热丝的热流式加速度传感器
    作者： 吕曈 吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  795-800,818
    摘要： 微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成.利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度.基于硅...
  • 123. Ni掺杂ZnO纳米线湿度传感器的制备与性能
    作者： 刘伟景 叶子 孙宁 宋小军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  801-810
    摘要： 采用水热法制备了不同摩尔分数Ni掺杂的ZnO纳米线,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对所制备的材料进行表征分析.采用介电泳方法将其定位到预先设...
  • 124. MEMS器件中微气泡执行器气泡动力学研究
    作者： 刘志军 徐立 曹雪玲 王淑香 童军杰
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  811-818
    摘要： 采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种微芯片来研究微通道中微气泡执行器的气泡动力学行为.在矩形硅微通道内,结合同步的温度响应曲线和高速可视化实验系统研究了各可控参数(热流密度、脉冲频率和主流...
  • 125. 基于RBF神经网络的MEMS陀螺温度漂移补偿
    作者： 徐小婷 沈小林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  819-823
    摘要： 微电子机械系统(MEMS)陀螺易受外界温度环境影响,为了降低陀螺仪的测量误差,需要进行温度漂移补偿.但由于陀螺仪的温度漂移呈现复杂的非线性特性,常规的方法无法对其建模.针对这一现状,提出运用...
  • 126. 基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
    作者： 傅云霞 孟凡娇 赵军 邵力 雷李华
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  824-830
    摘要： 作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础.提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一...
  • 127. 微流控静态液滴阵列芯片制备非球形微粒
    作者： 于洋 刘景全 张维军 曹哲 曹梦佳 杨斌 王晓林 程丹彤 陈翔
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  831-839
    摘要： 针对静态液滴阵列(SDA)微流控芯片中的毛细阀现象进行机制研究,探讨了流阻及表面张力对SDA芯片中微液滴的生成与存储过程的影响.通过Fluent软件模拟流体流动情况,并对照实验结果进行讨论,...
  • 128. 双氧水稳定剂对碱性铜膜抛光液稳定性的影响
    作者： 刘玉岭 张凯 牛新环 王建超
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  840-843,854
    摘要： 化学机械抛光(CMP)是多层铜布线的关键技术之一.随着集成电路的发展,碱性抛光液将逐渐成为研究热点.而双氧水作为抛光液中最常用的氧化剂,其最大问题是导致抛光液不稳定.在此基础上研究了双氧水稳...
  • 129. 一种提高抗过载能力的圆片级真空封装
    作者： 李飞 焦静静 王彦林 石云波 赵思晗 赵永祺
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  844-848
    摘要： 为提高现有的MEMS高量程压阻式加速度传感器的抗过载能力,优化设计了一种新型圆片级封装结构.通过在敏感结构上增加防护层阻挡质量块位移来减小悬臂梁根部应力,从而防止其断裂,提高了传感器的抗过载...
  • 130. 高碘酸钾和双氧水对Cu,Ru和TaN去除速率影响的对比
    作者： 周建伟 张佳洁 王子艳 王庆伟 王辰伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年11期
    页码:  849-854
    摘要： Ru/TaN双分子层已经逐渐成为替代传统双分子阻挡层Ta/TaN的最佳选择,而在不同氧化体系中针对Cu,Ru和TaN三种金属去除速率的研究并不多.分别在H2O2和KIO4两种氧化体系中,通过...
  • 131. Rayleigh波与Love波双模式声波产生器件的建模及特性
    作者： 巨永锋 文常保 洪吉童 牛涛涛
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  857-862,884
    摘要： 针对Rayleigh波和Love波两种声波不能在同一声波器件中产生的不足,提出了一种Rayleigh波与Love波双模式声波产生器件结构和三维建模方案.该三维建模方案用有限元分析法逼近压电基...
  • 132. 新型阻挡层材料钌的研究进展
    作者： 周建伟 张佳洁 王子艳 王庆伟 王辰伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  863-869
    摘要： 随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN.但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界...
  • 133. β-Ga2O3材料在半导体技术领域的应用现状
    作者： 赵金霞
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  870-877,916
    摘要： 单斜晶系氧化镓(β-Ga2O3)超宽带半导体材料具有优良的电学、光学特性以及较高的物理化学稳定性,在大功率器件、紫外探测器以及气体传感器等技术领域具有巨大的应用前景,近年来已成为国际研发的热...
  • 134. 标矢量一体化水听器的设计
    作者： 张兰胜 张国军 张文栋 徐庆达 沈倪鑫
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  878-884
    摘要： MEMS仿生矢量水听器具有体积小、刚性安装和单支定位等优点,但是在单支水听器定位时,常存在双边指向性造成左右舷模糊的问题.为了解决单支矢量水听器定位的问题,设计了一种通过集成一个标量通道实现...
  • 135. 基于系综NV色心的温度传感器关键技术
    作者： 傅月平 张少文 秦丽 赵娟 马宗敏 高健
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  885-889,909
    摘要： 金刚石中的氮空位中心(NV色心)具有独特的自旋特性,且其电子自旋受周围环境如温度的影响,从而可以通过探测NV色心的电子自旋态实现对温度的精密测量.在精密测量中,NV色心的哈密顿量起重要作用,...
  • 136. 谐振式光学陀螺数字锁频精度优化设计
    作者： 刘俊 刘文耀 唐军 李昊天 潘梓文
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  890-894,916
    摘要： 环境温度等外界因素引起的互易性噪声极易改变谐振式光学陀螺中光波导谐振腔特性,对陀螺系统测试产生极大影响.利用高精度的激光频率锁定技术对陀螺系统中的互异性噪声进行有效抑制,提高了陀螺性能.根据...
  • 137. MEMS陀螺仪高阶带通∑△闭环检测系统设计
    作者： 任臣 杨拥军 王亚林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  895-901,921
    摘要： 为了解决MEMS陀螺仪开环检测带宽窄、量程低、线性度差等问题,设计了机电结合带通∑△闭环检测系统.首先设计4阶带通纯电学∑△调制器,结合MEMS陀螺的机械结构,提出机电结合闭环检测系统结构及...
  • 138. 基于同轴式组合微喷嘴的虾卵细胞微胶囊封存
    作者： 姜德航 朱丽
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  902-909
    摘要： 为探究同轴式组合微喷嘴的喷射方向性以及制备虾卵细胞微胶囊时的封存效率,搭建了以电磁铁为驱动器的微流体数字化脉冲驱动控制喷射平台,并通过COMSOL Multiphysics 5.3建立二维仿...
  • 139. 原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工
    作者： 刘增磊 刘忠超 李密 杨旭 王栋 高爱莲
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  910-916
    摘要： 主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素.通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的...
  • 140. 碳化硅表面亚微米减反射结构及其制作工艺
    作者： 介芳 倪炜江 张敬伟 徐妙玲 李明山 杨永江 牛喜平 袁俊 黄兴
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  917-921
    摘要： 创新性地提出一种经济高效的碳化硅表面亚微米减反射结构制作工艺,即“黑碳化硅技术”.该方法无需光刻,采用非完全后烘的光刻胶微掩膜反应离子刻蚀(RIE)工艺,克服了碳化硅材料由于高硬度和高化学稳...
  • 141. KPFM测试参数对表面电势测量的影响
    作者： 冯凯 王美玲 白刚 菅傲群
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  922-926
    摘要： 开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种可以对材料表面电势进行纳米级成像的工具,是研究纳米材料表面特性的一种重要手段.高定向热解石墨(HOPG)具有表面光滑、导电性好的特点,在原子力显微镜(AF...
  • 142. 热电制冷技术的研究进展
    作者： 潘开林 程浩 郭琛
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  927-931
    摘要： 热电制冷(TEC)已成为制冷领域的一个重要发展方向,但是由于其转换效率过低且材料成本较高,目前难以得到广泛应用.对热电制冷技术进行了简要介绍,并综述了热电制冷技术的研究进展,包括热电材料、结...
  • 143. 信息动态
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2018年12期
    页码:  932
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

该刊被以下数据库收录
期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
  • 期刊分类
  • 最新期刊
  • 期刊推荐
  • 相关期刊
一般工业技术 交通运输 军事科技 冶金工业 动力工程 化学工业 原子能技术 大学学报 建筑科学 无线电电子学与电信技术 机械与仪表工业 水利工程 环境科学与安全科学 电工技术 石油与天然气工业 矿业工程 自动化技术与计算机技术 航空航天 轻工业与手工业 金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报 半导体光电 半导体光子学与技术(英文版) 半导体技术 半导体学报(英文版) 北京电子 电信建设 北京通信之窗 吉林大学学报(信息科学版) 重庆邮电大学学报(自然科学版) 湖南邮电职业技术学院学报 磁性材料及器件 电波科学学报 电声技术 电讯技术 电子学报 电子学报(英文) 电力电子 电力系统通信 电路与系统学报 电气电子教学学报 电视技术 影视制作 电信工程技术与标准化 电信交换
电子设计工程 信息技术 计算机与数字工程 中国新通信 电子测量技术 电子世界 电子测量与仪器学报 激光与红外 光电工程 通信技术 电视技术 光学技术 电子制作 机械设计与制造工程 电子测试 激光与光电子学进展 数字技术与应用 半导体学报(英文版) 信息通信 激光杂志 移动通信 现代雷达 信号处理 电子元件与材料 电子科技
微纳电子技术
按字母查找期刊：

联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com

京ICP备2021016839号 营业执照 版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号