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微细加工技术2005年第2期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
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4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 为了应对能源危机和环境污染,太阳能电池产业以平均年增长率为30%的速度飞速发展.摆在人们面前的课题是如何进一步提高转换效率、扩大生产规模和降低制造成本,使太阳能发电的成本降低到与常规发电相当...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 介绍了分子动力学模拟的基本原理,并对国内外采用其研究金属、半导体、有机体等材料的激光蚀除机制的现状以及所涉及的关键技术进行了详尽的综述,最后指出了分子动力学模拟激光蚀除的进一步研究方向.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述.同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 得到移动光源照射下平板温度分布的理论解,验证了有限元方法的正确性.建立了X射线掩模电子束制备图形过程中传热的三维有限元模型,给出了掩模瞬态温度变化规律.结果表明,辐射是X射线掩模在图形制备中...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制.该设计已在电工所的科...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 根据圆环内部和相邻环分割单元之间的位置关系,设计了无间隙拼接处对齐和错开、有间隙拼接处对齐和错开四种结构模型.通过分析和比较这四种不同结构的高分辨率波带片图形数据,给出图形数据量和剖分单元数...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 概述了纳米压印光刻的原理,以及纳米压印光刻工艺中模版与基片的平行度对压印质量的影响,分析了国内外几种纳米压印光刻工作台的结构与特点,并对其优缺点进行了评价.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中,扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响.首先结合高斯光束的固化理论分析,从平面固化成型基本要素的直线段、圆弧线段的线宽、线高及其...
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9. 微机械薄膜残余应力研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析.通过对一种残余应力测量结构(微旋转结构)的仿真分析表明,旋...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 以CF4和CH4的混合气体为源气体,以Ar为工作气体,用射频等离子体增强化学气相沉积法(rf-PECVD)制备了氟化非晶碳(a-C:F)薄膜,并在Ar气氛中对不同温度下沉积的薄膜进行了退火处...
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11. 一种新型压电驱动微流体混合器刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 设计了一种新型的压电驱动微流体混合器(micromixer),采用计算流体力学(CFD)的方法对其性能进行了仿真研究.结果显示,该混合器可在很大程度上提高微量流体的混合效率,在雷诺数为16、...
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12. 微细加工平台特性研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 通过对不同结构的微细加工平台的分析,指出采用Halbach磁阵和螺线管结构研制的微细加工平台的磁场特性比较复杂,难于建模和控制.提出了新型微细加工平台,并对它产生的磁通密度纹波进行了分析,提...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 研制出了碳纳米管场发射压力传感器.在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点.同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 用CH4和H2为反应气体,在热丝化学气相沉积系统中用不同的沉积条件直接在Si衬底上制备了纳米金刚石,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征.结果表明,在热丝化学气相沉...
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15. 表面改性FeS纳米微粒的结构表征刊名： 微细加工技术发表期刊： 2005年2期页码:摘要： 采用表面改性的方法,以双十八烷基二硫代磷酸盐(DDP)为表面改性剂,制备了双十八烷氧基二硫代磷酸盐(DDP)表面改性的FeS纳米微粒.采用TEM,DSC,XRD和FTIR对表面改性FeS纳米...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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