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微细加工技术2006年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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1. 新型等离子体源及其应用刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 为适应半导体技术的快速发展,需要寻求一些新的等离子体源.介绍了两种比较新颖的等离子体源--表面波等离子体(SWP,surface wave plasma)和磁中性环路放电等离子体(NLD,m...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案.微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 简述全息变间距光栅几何理论,通过分析其线距变化系数,研究了全息记录参数对线密度分布方程系数的约束,给出了使全息记录得到的线密度分布方程与期望方程相吻合的必要条件.同时还给出了遗传算法优化计算...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 极紫外光刻(EUVL)技术是实现45 nm特征尺寸的候选技术之一,产业化设备要求300 mm硅片的产率大于每小时80片(80 wafer/h),此时入射到掩模版上的极紫外光功率密度很高,掩模...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一.通过引入雾化技术,改进了传统的PZT薄膜湿法刻蚀方法,进一步减小了薄膜微图形的侧蚀比,提高了图形的转化精度.选用体积...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 以CH4,NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端阵列.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分别对碳膜和碳纳米尖端进行了研究,发现碳膜的表...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 介绍了一种微模塑工艺,可用于制作以聚合物为基底的微电机定子,从而提高了电机的可靠性,降低了制造成本.双面密集微沟槽(100μm×70 μm)阵列是定子基底的一大特点,其初始图形用MEMS技术...
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10. 低功耗低噪声正交压控振荡器设计刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 设计了一种用于WLAN 802.11n收发机频率合成器的新颖低功耗、低相位噪声正交输出LC电压控制振荡器(QVCO).电路设计中使用了CadeNce IC5.033和ADS2004软件以及T...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 采用分子动力学方法分析了纳机电开关中碳纳米管悬臂梁的静态特性.仿真中C-C原子间相互作用采用Tersoff-Brenner势函数,C-Cu及Cu-Cu间相互作用采用L-J势函数,并同时采用截...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片.基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 采用解析方法就电极层对压电微悬臂梁动态性能的影响进行了研究,并得出结论:当弹性层、压电层与电极层的厚度比值较大时,可忽略电极层对压电悬臂梁横向位移及谐振频率的影响.当各层的厚度都在微纳米量级...
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微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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