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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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总被引数（次）
19905
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  • 1. 彩色显像管显示屏内表面曲率优化问题的研究
    作者： 姜涛 范玉锋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  173-175
    摘要： 利用光学折射原理推导了平面彩色显像管显示屏内表面与其虚像的关系，并进行了数值计算模拟，得到了显示屏内表面的优化曲率半径。采用此设计方法制作彩色显像管，既能得到失真较小的显示图像，又能使显示屏...
  • 2. 离子在矩形波四极场中的运动与四极场离子阱质谱的数字化操作
    作者： 丁力 熊代州三夫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  176-181
    摘要： 矩形波驱动的四极场同样可用于对离子进行质量分析和存储。本文推导了离子在矩形波四极场中的运动规律，并以常用于正弦波四极场的马绍方程参量a,q来表出离子的稳定性。运用赝势阱概念探讨了离子在这种四...
  • 3. 大尺寸电子束引出窗
    作者： 尉伟 王勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  182-184
    摘要： 详细介绍了一种新型平面压封结构的大尺寸电子束引出窗口的研究和设计，并给出了金属膜窗的基本参数的设计方法和计算公式，为大尺寸电子束引出窗的设计提供了依据，可作为同类膜窗设计的参考。
  • 4. MlNi4Co0.6Al0.4储H2合金表面吸H2的TDS研究
    作者： 吴悦 庄友谊 张寒洁 张建华 李海洋 陈卫祥 陈晓 陈石 鲍世宁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  185-189
    摘要： 用热脱附谱(TDS)对不同表面处理的富La混合储H2合金MlNi4Co0.6Al0.4粉末样品进行H2气吸附和脱附特性的比较和研究。未经表面处理的粉末样品，只测到一个H2脱附峰(α峰)，脱附...
  • 5. 单晶硅非平衡磁控溅射等离子体基离子注入钼的XPS研究
    作者： 于伟东 夏立芳 孙跃
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  190-193，202
    摘要： 采用非平衡磁控溅射及射频激励产生金属等离子体，在单晶基体Si上等离子体基离子注入钼。选择不同的靶基距，即不同的Mo沉积速率，研究了沉积速率对Si中Mo注入层的影响，用X光电子能谱(XPS)对...
  • 6. 新型等离子体平板显示器件放电过程的二维数值模拟
    作者： 尹涵春 屠彦 张雄 王保平 童林夙 雷威
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  194-198
    摘要： 根据新型等离子体平板显示器结构的对称性，利用二维数值模拟方法计算了该结构的放电过程。介绍了计算过程及某些参数的确定。给出了电场随时间的变化情况以及各种粒子浓度分布随时间的变化情况。由此可清楚...
  • 7. 矩形偏转系统的近似多极场模型
    作者： 尹涵春 张晓兵 童林夙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  199-202
    摘要： 提出了可以应用于矩形偏转系统的近似多极场模型，并给出了应用该模型进行偏转系统优化设计的方法，计算比较了旋转对称多极场模型和矩形近似多极场模型的磁场分布，应用近似多极场模型对矩形偏转系统的偏转...
  • 8. 物理气相沉积薄膜的界面与附着力
    作者： 王国庆 蒙继龙 谢致薇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  203-209，213
    摘要： 近十多年来，气相沉积技术发展十分迅速，无论在理论研究还是应用研究上都取得了丰硕的成果，尤其在PVD薄膜的附着力方面，研究十分活跃。本文根据有限的资料，初步归纳出：在PVD过程中，膜/基附着力...
  • 9. Ag-BaO光电发射薄膜表面结构的STM研究
    作者： 刘虹雯 吴锦雷 张琦锋 许北雪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  210-213
    摘要： 利用真空沉积方法制备了Ag-BaO光电发射薄膜，第一次用扫描隧道显微镜(STM)研究了Ag-BaO薄膜的表面结构，得到了高分辨的表面形貌像。介绍了Ag-BaO薄膜微区表面复杂的形态结构，并将...
  • 10. UHV／CVD外延生长锗硅碳三元合金的应变研究
    作者： 亓震 叶志镇 王亚东 章国强 赵炳辉 黄靖云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  214-216
    摘要： 用超高真空化学气相沉积方法，在Si(100)衬底上生长掺C高达2.2%的Si1-x-yGexCy合金薄膜，外延层质量良好。用高分辨透射电子显微镜，X射线衍射，傅立叶红外吸收光谱以及拉曼光谱对...
  • 11. 彩色PDP光刻工艺的优化理论和设计
    作者： 刘忠安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  217-219
    摘要： 提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法，并用实例说明了该理论的实用性。
  • 12. 聚酰亚胺绝缘膜的真空性能及在电真空器件中的应用研究
    作者： 李玲珍 郑姚生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  220-222，228
    摘要： 利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明，聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分，并且经高温烘烤后，在300 ℃时的平...
  • 13. HT-7超导托卡马克第1壁B/C膜吸O性研究
    作者： 何也熙 张晓东 方应翠 李成富 王小明 辜学茂
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  223-225
    摘要： 通常在托卡马克第1壁沉积1层B膜，以降低托卡马克等离子体的O杂质。在HT-7第1壁位置处放了几个石墨样品，它们与HT-7一起硼化。硼化后取出部分样品膜，剩余样品留在真空室接受聚变等离子体的轰...
  • 14. 用于电离层环境模拟器的ECR等离子体源
    作者： 任兆杏 吕庆敖 梁荣庆 程绍玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  226-228
    摘要： 为了经济地考验空间电离层等离子体对处于其中的飞行器表面的作用，需要在地面建立等离子体环境模拟器。本文就是为空间电离层环境模拟器研制的扩散型极低气压、低电子温度和极低密度的紧凑型电子回旋共振等...
  • 15. 真空热蒸发碲化镉薄膜的结构组成和光电性能研究
    作者： 张溪文 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  229-232
    摘要： 研究了真空热蒸发制备CdTe薄膜的光电性能以及微结构、化学组成和成膜机理。通过X射线衍射、透射电镜电子衍射、X光电子能谱和光、暗电导测试等分析手段，系统表述了薄膜的组成、结构、表面氧化与真空...
  • 16. MIM-MIS隧道结的发光光谱特性
    作者： 俞建华 孙承休 王茂祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  233-236
    摘要： 对MIM(Au-SiO2-Al)和MIS(Au-SiO2-Si)隧道结的表面等离极化激元(surface plasmon polariton,SPP)的激发与色散关系进行了讨论，对结的发光光...
  • 17. 分压强质谱计校准装置的研制
    作者： 冯焱 张建军 张涤新 李得天 李正海 李莉 许珩 龚月莉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  237-241
    摘要： 分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法，并给出了分压强测量的不确定度分析。
  • 18. 辐射加热进行YAG与九五瓷的真空扩散焊接研究
    作者： 祁康成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  242-244
    摘要： 钇铝石榴石(YAG)单晶可以作为投影管的发光屏衬底材料，因为YAG的膨胀系数与九五瓷相近，利用金属铝在真空中向YAG和陶瓷中扩散实现扩散焊接。采用辐射加热方式，在温度为600 ℃，压力为25...
  • 19. HT-7U石墨材料在HT-7超导托卡马克装置的先行实验
    作者： 万宝年 张晓东 曾敏 李建刚 胡建生 辜学茂 陈俊凌 龚先祖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  245-249
    摘要： 通过对1种新型石墨材料进行等离子体轰击实验，近似计算出材料的热导率大约为70 W／m*K，石墨可以承受高达2.41 MW／m2的能流密度(实验中最大值)。模头位置及波加热条件下，石墨受等离子...
  • 20. 介质阻挡放电照相机理的研究
    作者： 徐伟军 翁明 郑华 郑德修
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  250-253
    摘要： 讨论了介质阻挡放电照相的物理过程，并建立了相应数学模型。在此基础上得出了介质阻挡放电照相的衬度曲线，以此探讨了介质阻挡放电照相的机理，并用实验对此进行了验证。论文工作是对Kirlian ph...
  • 21. 硼轻掺杂对a-Si∶H光电导层性能影响的研究
    作者： 钱祥忠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2001年3期
    页码:  254-257
    摘要： 用等离子体增强化学气相沉积法制备了厚为1 μm左右的B轻掺杂a-Si∶H光电导层，得到了a-Si∶H的暗电导率与淀积工艺参数和B掺杂比关系的实验曲线，利用该曲线确定了最佳工艺参数和最佳掺杂比...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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