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真空科学与技术学报2007年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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19905
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91. 静电型微继电器的设计与研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力.在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区",得到较高的薄膜沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Mo...
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93. 掺钛类金刚石膜的微观结构研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 利用中频磁控溅射法,溅射氧化锌钇(ZYO)陶瓷靶材,在玻璃基底上制备ZYO透明导电薄膜.研究了氧化钇掺杂量和基底温度对薄膜的结构、电学性能和光学性能的影响.并分析和探讨了工艺因素与结构和性能...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 用磁控溅射法制备ZnO:Al透明导电膜时,降低靶电压可以减少溅射等离子体中被靶背反射回的中性离子和负氧离子对基片的轰击,提高薄膜的质量,降低薄膜电阻.本文研究了用中频脉冲直流溅射法和Zn:A...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 本文讨论了一种新颖的不对称荫罩式等离子体显示板.在结构上,它与现有的荫罩式等离子体显示板(SMPDP)不同的是,荫罩上每个单元的后开口对称中心偏离其前开口对称中心.通过对4"实验板的制作、测...
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97. 直流驱动真空荧光显示器的阴极设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 当真空荧光显示器的阴极直流驱动时,其电位随位置的不同而变化,结果导致发光亮度的不均匀;阳极电压比较低时,显示屏二端的发光亮度相差近42%.本文通过改变栅极到阴极距离对发光亮度变化的分析;指出...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时...
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99. 恒压式正压漏孔校准装置的设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： IC装备制造业是国家发展战略的重要行业.在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行.而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右.罗茨...
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101. 抽真空自冻结实验研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 以液态、浆态和固态三种不同类型的物料为对象,通过大量实验研究了真空室压力、物料含水量和尺寸对抽真空自冻结的降温速率和对冻结最终温度的影响规律.结果发现不同物料要达到抽真空自冻结的目的,首先物...
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102. 类金刚石膜形态的分子动力学模拟研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 类金刚石膜(Diamond-like carbon,DLC)优异的性能与碳原子sp2、sp3杂化密切相关.本文采用分子动力学方法,分别模拟计算了以C原子和CH3原子团为主要沉积物,在不同入射...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 利用直流反应磁控溅射法制备了CdIn2O4(CIO)薄膜,研究了氧浓度、基片温度、溅射时间和退火处理对薄膜光电性能的影响.结果表明:电阻率随着氧浓度的增加和溅射时间的减小而增加,随着基片温度...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文采用RF-PCVD法,分析了富氧高频等离子反应器内反应物AlCl3的高温氧化反应、产物Al2O3气相成核及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的主要步骤.采用Brownian碰撞理...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用直流反应磁控溅射方法,由氨气和氧气的混合气体在玻璃和单晶硅衬底上制备Al、N共掺Zn1-xMgxO薄膜.采用XRD、FE-SEM、Hall实验、UV-VIS透射谱以及EDS等方法对共掺Z...
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106. 利用HWCVD在柔性衬底上制备多晶硅薄膜刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 通过热丝化学气相沉积法(Hot Wire Chemical Vapor Deposition,HWCVD),采用间歇供应硅烷气体,持续通入氢气的方式控制硅薄膜的生长,发现该方法在有机衬底上生...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： TiO2薄膜具有许多独特的性能,作为一种令人满意的材料被应用于诸多领域.磁控溅射作为制备这种多功能薄膜的一种主要方法,也越来越引起人们的关注.TiO2薄膜的结构和性能是由沉积条件决定的.通过...
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108. 氢致过渡族金属及合金薄膜的光电性能变化刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 某些金属薄膜的光电学性能随着吸氢量的变化而变化.本文综述了国内外对这一现象的最新研究进展,重点介绍纯稀土元素、稀土-镁、镁-镍等合金薄膜的制备和氢致光电学性能变化及其潜在应用价值.
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109. 平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 放电等离子模拟是平面直流磁控溅射装置系统仿真的一个重要的子过程.本文根据模型的种类,求解问题的维数以及自洽性对磁控放电等离子体模拟方法进行了分类,并通过介绍不同种类的仿真模型,诸如动力学模型...
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110. 离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备.本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子魄注入角...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用离子束溅射沉积法,在单晶Si基片上制备了不同厚度(1 nm～100 nm)的Co纳米薄膜.利用原子力显微镜和X射线光电子能谱仪对不同厚度的Co纳米薄膜的表面进行了分析和研究.结果表明:当...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质.Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的.X射线衍射(XRD)结果表明薄膜为非晶.由X射线能谱(EDX)...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用锌、铝(Al 2 wt.%)合金靶,真空腔温度保持在50 ℃,运用直流反应磁控溅射法制得系列的ZnO∶Al (ZAO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、分光光度计...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 用电弧离子镀设备,分别采用直流偏压和脉冲偏压的沉积工艺,在一端封口的50 mm×200 mm×5 mm的不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜,对薄膜的厚度、表面形貌、相结构、硬度和磨损性能等随管...
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115. 阴极热丝组件中辐射换热量的改善刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用辐射换热的网络法分析和计算间热式阴极组件辐射的热耗散,并通过高温计测温、近距离平板二极管试验证实了理论模型的准确性.理论分析表明,在两板间插入一块与其发射率相同的遮热板后,两板之间的辐射...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 利用电感耦合等离子体(ICP)辅助射频磁控溅射技术,在Si(111)片表面制备了ZrN薄膜.研究发现,随着ICP功率的增大,基片的电流密度增大,薄膜的致密度增大,粗糙度降低.XRD结果表明:...
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117. 氧化铝的加热荷电补偿研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 在环境扫描电镜(ESEM)中配置加热台,对Al2O3样品进行加热实验.结果表明,Al2O3表面的荷电效应随温度的稳定升高而逐渐减小.当温度上升至～360 ℃时,荷电效应完全消除,得到清晰的二...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别.将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文介绍了电子能量损失谱的基本原理、能量过滤成像分析及应用电子能量损失谱计算碳同素异构体的电子密度和sp2键结构的含量.同时应用透射电镜(TEM)和电镜配置的能量过滤成像系统(gatan i...
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120. 金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响.
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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