真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 任逸群 吴明忠 巩春志 李慕勤 田修波 魏荣华
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1403-1407
    摘要: 为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了“笼网等离子体浸没离子沉积技术”.采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分...
  • 作者: 刘政君 董华军 郭方准 郭英杰
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1408-1413
    摘要: 真空断路器逐渐向高压等级发展,工作时电弧等离子体几何形态直接影响其开断能力.本文利用高速摄像机对电弧几何形态进行数字采集,运用图像去噪声、选取合适阈值方法,对采集数据进行形态学操作,得到内部...
  • 作者: 商圣飞 蔡国飙 贺碧蛟 顾左
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1414-1419
    摘要: 束流密度分布模型公式对了解推力器羽流场下游比较大范围内的束流特性,以及在工程应用中对评估离子推力器对舱体的溅射污染效应有重要意义.同时也对地面试验的工况快速确定及结果估计有重要的工程应用价值...
  • 作者: 何寿杰 哈静
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1420-1426
    摘要: 利用流体-亚稳态原子模型对柱型空心阴极放电中电场反转和电势垒进行了研究.模拟得到了稳态放电时电势、电子密度、离子密度、电场和粒子流密度等的分布特性.220V阳极电压和133 Pa氩气下,电子...
  • 作者: 刘晗 孙斐 庄晔 胡静
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1427-1430
    摘要: 首次采用空气、氮气和氢气混合气源对45钢进行离子氧氮共渗,并研究空气流量对渗速和组织性能的影响.采用金相显微镜、X射线衍射、电化学工作站对处理后的45钢进行测试和分析.研究结果表明,在离子氧...
  • 作者: 刘伟 朱晓策 杨帆 王亦曼 王金淑
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1431-1436
    摘要: 采用喷雾干燥法制备氧化钪掺杂钨粉.用这种钨粉制作基体并浸渍铝酸钡、钙,研制了大电流密度含钪扩散阴极.分别在平板二极管和电子枪内研究了阴极的脉冲与直流发射性能以及寿命,并对高直流电流密度下的电...
  • 作者: 孙泽来 李成榕 邢兆亮 金指洋 高纪新 齐波
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1437-1442
    摘要: 真空绝缘子表面电荷的积聚会改变电场分布,影响绝缘子的闪络电压.为了量化研究表面电荷积聚对表面电场的影响程度,本文采用静电探头法测量了真空中纳秒脉冲作用下多种陶瓷绝缘子表面电荷的二维分布,并结...
  • 作者: 刘华荣 孙步梁 李艺晶 王俊听 罗婷婷 郑磊
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1443-1448
    摘要: 微焦点X射线源透射式阳极靶的参数优化,对于增加微焦点X射线管的出光强度、减小X射线焦斑尺寸、提高X射线成像分辨率有着重要的意义.本工作中依据理论分析,通过蒙特卡罗法MCNP软件描述了能量为2...
  • 作者: 朱超颖 林景殿 苏中地
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1449-1452
    摘要: 罗茨转子是气体罗茨泵,罗茨鼓风机和罗茨流量计等仪器设备的核心部件,转子型线设计得合理与否决定了仪器的性能.本文提出了一种新的罗茨型线,完成该型线的数学建模,通过C语言编程碍到一系列的型线上的...
  • 作者: 刘坤 孙松刚 孟冬辉 宁英超 巴德纯 张小军
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1453-1458
    摘要: 微型化和集成化是当前干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵正是具有代表性的一种新型干泵.本文对高真空干泵的螺旋级转子进行了研究,对组成螺旋级转子的外螺线、内螺线、母线的型线方程分别进行了方程推...
  • 作者: 刘坤 巴德纯 张小军 李强 郝明 陈树雷
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1459-1465
    摘要: 微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵.本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗...
  • 作者: 成大鹏 杨军 王骥 陈江 马寅光 黄良育
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1466-1469
    摘要: 为了进一步提高原子钟用金属铯的纯度,以99.5%的精铯为原料,采用分子蒸馏的方法提纯金属铯.通过实验研究了蒸馏温度、刮膜器转速、进料速率对金属铯提纯效果的影响,得到最佳的实验条件如下:蒸馏温...
  • 作者: 刘大春 卢勇 杨斌 熊恒 王威 董朝望 邓勇 陈秀敏
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1470-1476
    摘要: 从理论上分析了真空蒸馏脆硫铅锑矿富集Sb2S3的可行性并展开了实验研究,对实验样品进行元素成分分析和物相分析,探究蒸馏温度保温时间等因素对富集Sb2S3的影响,实验研究结果表明,通过真空蒸馏...
  • 作者: 宋冰宜 徐宝强 杨斌 蒋文龙
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1477-1482
    摘要: 回收利用铅、锑冶炼和消费过程中产生的锻锑合金意义重大.本文计算了923~ 1373 K温度范围内纯铅和纯锑的饱和蒸气压、锑的分离系数和气液相平衡成分图,从热力学上分析了铅锑合金真空蒸馏分离的...
  • 作者: 孔营 巩春志 李永健 田修波 耿慧远 胡健
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1483-1488
    摘要: 采用高功率脉冲磁控溅射技术在M2高速钢基体上沉积了TiN薄膜,研究了不同脉冲电流下TiN膜层的沉积速率、膜基结合力、晶体生长取向、纳米硬度和摩擦磨损性能等.结果表明:随着脉冲电流的增加,膜层...
  • 作者: 刘星 孙刚 王明娥 马国佳
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1489-1494
    摘要: 采用可控阴极弧的沉积方法在GCr15基体上制备了梯度和调制多层结构的氮化铬/铬(CrN/Cr)薄膜,对不同的CrN/Cr薄膜的组织结构、力学性能和耐磨性能进行了研究.通过扫描电镜、能量散射谱...
  • 作者: 周向阳 徐文奎 杨炼 胡在定 蔡海涛
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1495-1499
    摘要: 近些年来,各国新建的日产淡水万吨级以上的非膜法海水淡化装置,大多采取带有TVC泵的低温多效蒸发模式.TVC泵在真空行业又称作水蒸汽喷射泵,本文结合日产淡水万吨级的国产化大型低温多效海水淡化装...
  • 作者: 季林红 王春财 程嘉 路益嘉
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1500-1506
    摘要: 喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一.本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了...
  • 作者: 宋伟杰 朱超挺 李佳 谭瑞琴 车丙晨 黄琦金
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1507-1512
    摘要: 采用射频(RF)磁控溅射技术在室温条件下制备了基于柔性PI衬底上不同氧化镓(Ga2O3)掺杂浓度的ZnO(GZO)薄膜.研究发现,在Ga2O3掺杂浓度为5%(质量比)情况下,制备的GZO薄膜...
  • 作者: 付秋明 张田田 李国伟 王传新 马志斌 黄宏伟
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1513-1518
    摘要: 利用一种新型线形微波等离子体源以甲烷和氢气为反应气体在135 mm×l mm× 0.5 mm杆状氧化铍表面沉积金刚石膜.研究了氧化铍基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚...
  • 作者: 张艳龙 王慧慧 赵丽敏 郝胜智
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1519-1523
    摘要: 利用强流脉冲电子束进行FV520B钢表面改性,处理参数包括加速电压27 kV,能量密度5 J/cm2,脉冲次数1到25次.使用扫描电镜、电子探针和X射线衍射分析样品表层形貌、元素分布和相组织...
  • 作者:
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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