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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 宇宙真空学的发展
    作者： 杨亚天 达道安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  515-527
    摘要： 研究了真空科学技术发展及应用的历史过程,建立了宇宙真空学.宇宙真空学是研究行星表面以上空间大气分布规律、行星大气逃逸理论、航天器周围的真空环境特性及宇宙真空测量理论与技术、宇宙真空的物理本质...
  • 2. 基于思维进化神经网络的真空绝热板真空度测量精度改进方法研究
    作者： 冯勇建 黄俊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  528-532
    摘要： 以基于红外热成像机理测量真空绝热板(VIP)的真空度为研究对象.鉴于目前此方案测量真空度存在精度低的问题,本文提出一种基于BP神经网络的真空度测量精度改进方法.针对BP神经网络存在易陷入局部...
  • 3. 基于控制律重组的双级滑阀真空泵故障诊断算法研究
    作者： 于振华 吕冬梅 韩江
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  533-537
    摘要： 为提高双级滑阀真空泵工作可靠性,针对双级滑阀式机械真空泵在实际生产过程中可能出现的故障现象,引入控制律重组和PARD-BP神经网络故障诊断算法,以2H-150型双级滑阀真空泵振动故障样本采集...
  • 4. 隔气结构膜对真空绝热板热工性能及使用寿命的影响
    作者： 刁子军 康丽云 曹丹 阚安康
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  538-543
    摘要： 真空绝热板具有良好的绝热性能,为节能目的,尤其是建筑领域,提供行之有效的热屏障,但其使用寿命成为诸多研究人员、制造商和用户最为关心的关键问题.隔气结构是维持真空绝热板内真空度的重要组成元件,...
  • 5. 真空条件下除湿溶液再生的模拟与实验研究
    作者： 张涛 王敏 邓赛峰 邹同华 韩雨松
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  544-549
    摘要： 除湿溶液的高效再生是除湿空调系统运行的重要保障.为研究除湿溶液的再生效率,将真空技术应用于溶液的再生过程,搭建了真空条件下的除湿溶液再生试验台.真空再生罐由低温热水提供所需热量,蒸发的水蒸汽...
  • 6. 高真空多层绝热储罐中微热型复合吸附剂吸附氢气的实验研究
    作者： 汪荣顺 王健 陆佳 魏蔚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  550-555
    摘要： 为解决氢气导致高真空多层绝热储罐夹层真空度下降和吸氢剂价格昂贵的问题,本文搭建了吸氢试验台,研究了廉价微热型吸氢剂CuO和CuO+C的吸氢性能;结果表明:C的加入使CuO吸氢活化温度下降了1...
  • 7. 固体润滑轴承用9Cr18不锈钢离子注入与磁控溅射改性真空摩擦学研究
    作者： 周晖 张延帅 桑瑞鹏 蒋钊 陈庆川
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  556-559
    摘要： 为了提高空间固体润滑滚动轴承耐磨寿命,采用全方位离子注入和磁控溅射技术对空间固体润滑轴承用9Cr18材料进行耐磨减摩表面改性研究.首先对9Cr18不锈钢试样表面注入N+、Ti+、Ti++N+...
  • 8. 取样管道对分子流气体分压力测量的影响
    作者： 闫荣鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  560-564
    摘要： 在管道吸附作用非稳态气体分析研究的基础上,提出管道末端分子流气体以单位时间碰壁数进入质谱室,由真空系统抽除的物理机理,建立了第三类边界条件的气体在管道取样分压力分布的输运方程和质谱室抽气方程...
  • 9. 电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N2等离子体物理特性的影响
    作者： 宁兆元 张志辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  565-569
    摘要： 电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体.本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:①双频(60,13...
  • 10. ICP刻蚀4H-SiC栅槽工艺研究
    作者： 刘可安 刘新宇 户金豹 李诚瞻 杨谦 申华军 邓小川
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  570-574
    摘要： 为避免金属掩膜易引起的微掩膜,本文采用SiO2介质作为掩膜,SF6/O2/Ar作为刻蚀气体,利用感应耦合等离子体刻蚀(ICP)技术对4H-SiC trench MOSFET栅槽刻蚀工艺进行了...
  • 11. 离子后氧化对42CrMo钢渗氮组织与耐蚀性的影响及机理分析
    作者： 李景才 武计强 胡静 魏伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  575-579
    摘要： 采用普通空气对42CrMo钢离子渗氮样进行了离子后氧化处理.采用金相、扫描电镜、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、渗层厚度、物相、耐蚀性及电化学试验后试样表面进行了测试...
  • 12. 丙烷浓度对45钢离子碳氮共渗的影响
    作者： 叶雪梅 朱永利 武计强 胡静
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  580-583
    摘要： 首次以丙烷作为供碳剂对45钢进行离子碳氮共渗.利用金相显微镜、X射线衍射仪和显微硬度计研究了丙烷浓度对试样截面形貌、物相组成和表面硬度的影响.结果表明:随丙烷浓度的增加,化合物层厚度和表面硬...
  • 13. 直线等离子体装置中氩等离子体热负荷特性研究
    作者： 张卫卫 曹小岗 杨党校 欧巍 王建强 苟富均 薛晓艳 陈顺礼 黎颖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  584-588
    摘要： 利用自建的单阴极直流弧光放电直线等离子体装置研究了氩等离子体的稳态热负荷特性,拟为研究等离子体性质、及其与壁材料相互作用提供一定的参考.研究表明,实验中产生的氩等离子体热负荷可达0.5 MW...
  • 14. 工作气压对多脉冲鞘层动力学行为的影响
    作者： 敬晓丹 李久会 李义 雷明凯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  589-593
    摘要： 分别采用低压非稳态扩散流体模型和碰撞流体模型描述了等离子体浸没离子注入平面靶表面过程中等离子体回复扩散和鞘层演化行为,通过数值求解两流体模型研究了不同工作气压下多脉冲鞘层的时空演化动力学特征...
  • 15. 偏压对磁控溅射制备Ni掺杂TiB2基涂层结构及力学性能的影响
    作者： 李沛 谷文翠 贾丛丛 钟庆东 黄峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  594-600
    摘要： 采用双靶非反应磁控溅射,通过改变基底偏压,制备了一系列Ni掺杂TiB2基的涂层.通过X射线能谱仪确定其成分,利用X射线衍射、扫描电镜对涂层的结构进行分析,并通过纳米压痕、维氏压痕、划痕以及摩...
  • 16. 退火温度对DLC膜热稳定性及摩擦学性能的影响
    作者： 刘官 彭润玲 徐飞燕 曾群锋 董光能
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  601-607
    摘要： 采用非平衡磁控溅射技术分别在氮化硅陶瓷球和高速工具钢圆盘表面制备了类金刚石(DLC)膜.使用箱式电阻炉对DLC膜在大气环境中进行高温退火处理以研究环境温度对DLC膜摩擦学性能的影响;并分别采...
  • 17. 7A04铝合金表面DLC薄膜制备及性能研究
    作者： 王锦标 苏永要
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  608-613
    摘要： 为提高7A04铝合金的表面性能,利用射频辅助等离子体浸没离子注入与沉积设备,在其表面制备类金刚石(DLC)薄膜.由于DLC薄膜与铝合金基体力学性能差别较大,导致膜基结合力差.本研究采用非平衡...
  • 18. 石墨靶和钛靶共溅射制备的TiCN薄膜的结构和性能
    作者： 杜昊 王均 王辉 范洪远 赵海波 鲜广
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  614-619
    摘要： 在氮气和氩气的混合气氛下通过共溅射石墨靶和钛靶在M2高速钢基体上制备TiCN薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析TiCN薄膜的组织与结构,采用纳米压痕仪检测TiCN薄膜的硬度,同时采用...
  • 19. 电弧离子镀沉积TiCx薄膜的结构和性能研究
    作者： 张林 林国强 马国佳 马贺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  620-624
    摘要： 采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统,在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上制备出不同成分的TiCx薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射、X射线光电子谱及拉曼光谱对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析;采用纳米...
  • 20. 刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究
    作者： 段文睿 田凌 韩文彬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  625-633
    摘要： 450 mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计.为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和...
  • 21. 电子束快速成型机聚焦及偏扫系统的工程实现
    作者： 李雪娇 莫金海 韦寿祺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年5期
    页码:  634-638
    摘要： 阐述了电子束快速成型机聚焦及偏扫系统在工程上所遇到的几个问题及解决方法.主要有:制造工艺引起s、t轴偏扫不垂直,通过斜角坐标和直角坐标数据互换算来解决此问题;电子束偏转后束斑散焦,采用以电子...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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