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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 108 GHz双注折叠波导行波管电子光学系统设计
    作者： 刘文鑫 杨国祯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1343-1348
    摘要： 多电子注折叠波导行波管是一类重要的太赫兹源器件.作为真空器件的重要组成部分,电子光学系统对器件的性能有十分重要的影响.本文首先论述了横向场对电子注聚焦的影响,并讨论了使用传统周期永磁聚焦系统...
  • 2. 太赫兹波段光子晶体矩形栅慢波结构的研究
    作者： 崔俊婷 易红霞 相东 陈喜艳 黄明光
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1349-1355
    摘要： 慢波系统是真空电子器件进行注-波互作用激发微波能量的核心,它的性能优劣直接影响了真空电子器件的技术水平,为了解决太赫兹波段所面临的频带窄、互作用效率低等问题,本文将太赫兹波段光子晶体矩形栅慢...
  • 3. 真空间隙与CO2气体间隙串联的混合断路器电场仿真计算
    作者： 焦连曜 程显 葛国伟 陈占清
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1356-1362
    摘要： 利用真空间隙串联CO2气体间隙组成混合断路器可补偿CO2气体灭弧能力较差的缺点,使CO2气体间隙获得接近SF6气体间隙的开断能力.为分析混合断路器各间隙的电位分布,搭建了5种不同布置方式的混...
  • 4. 基于图像亚像素真空开关分闸速度的检测
    作者： 冯雨 司明月 孙强 董华军 郭方准 郭英杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1363-1367
    摘要： 操动机构运动参数是影响真空开关开断性能的重要因素之一,如何高精度检测操动机构运动参数是该领域重要研究课题.本文以操动机构分闸速度为研究对象,据电弧实验触头运动序列图像中电弧边缘与触头边缘重合...
  • 5. 衬底温度对氢离子束辅助磁控溅射制备a-Si∶H薄膜结构特性的影响
    作者： 丁明 桑安琪 王辉 程薇 葛天宇 谭永贞 陈珍明 高敏 黄俊俊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1368-1372
    摘要： 利用氢离子束辅助磁控溅射制备氢化非晶硅薄膜(a-Si∶ H),借助拉曼光谱仪、红外光谱仪和椭圆偏振光谱仪等分析测试手段,研究衬底温度对a-Si∶H薄膜结构特性影响规律.结果表明在合适的衬底温...
  • 6. 靶材刻蚀对磁控溅射制备ZnO∶ Al薄膜性能空间分布的影响
    作者： 姚婷婷 张宽翔 彭寿 徐根保 曹欣 李刚 杨勇 蒋继文 金克武
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1373-1380
    摘要： 采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭...
  • 7. 氮流量对孪生靶磁控溅射沉积氮化铬薄膜性能的影响
    作者： 刘忠伟 张海宝 李花 杨丽珍 袁燕 陈强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1381-1386
    摘要： 采用中频孪生靶反应磁控溅射在金属镍基底上制备氮化铬薄膜.利用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、磨擦磨损试验仪和电化学工作站等系统研究了氮气流量(即氮/氩流量比)对薄膜的...
  • 8. 电弧离子镀AlCrN涂层结构和摩擦性能的研究
    作者： 张世宏 曾琨 王启民 耿东森 黄健
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1387-1393
    摘要： 采用电弧离子镀技术在硅片和高速钢基体上沉积AlCrN涂层,利用扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪、能谱仪、透射电子显微镜、纳米划痕以及摩擦实验等对AlCrN涂层的结构和摩擦性能进行了研究.结果...
  • 9. 四极质谱计在超导托卡马克装置上的应用
    作者： 孙立臣 窦仁超 胡建生 陈长琦 龚先祖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1394-1399
    摘要： 四极质谱计广泛用于托卡马克装置上,用来监测聚变装置的真空品质,为真空系统的状态提供判断依据.本文介绍了四极质谱计在全超导非圆截面托卡马克装置(EAST)上的多种应用,为聚变装置的第一壁处理和...
  • 10. 现场真空校准装置性能研究
    作者： 习振华 刘珈彤 吉康 张虎忠 成永军 李得天 王永军 管保国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1400-1406
    摘要： 研制了一台校准范围为10-5 ～105 Pa的现场真空校准装置.将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力psd.上游室压力变化范围...
  • 11. 气体-液体两相放电低温等离子体的光谱诊断
    作者： 倪康 卞明 田立安 赖志豪 赵卫东 黄健泉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1407-1412
    摘要： 基于介质阻挡放电工作原理,设计了气体-液体两相放电装置.采用发射光谱诊断技术,结合Stark展宽理论,系统研究了工作电压、气体流量、液体高度等参数对气体-液体两相放电发射光谱及电子密度的影响...
  • 12. 多周期InGaAs量子点点阵与点链形貌研究
    作者： 丁召 刘健 周海月 王一 王继红 罗子江 赵振 郎效智 郭祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1413-1417
    摘要： 通过分子束外延生长方法,在GaAs(001)衬底上制备生长12周期,16周期,20周期的InGaAs/GaAs量子点,分析了多周期生长的InGaAs/GaAs量子点在16周期下出现较好分布的...
  • 13. 真空感应冶炼炉炉料架桥原因分析及改善措施
    作者： 刘建民 姜彩伟 胡显军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1418-1421
    摘要： 真空感应冶炼经常出现架桥现象,为了防止出现这一现象,本文设计了四种不同的实验方案,研究了炉料中氧含量、炉料尺寸、熔化速率、保护气体充入量等因素对架桥现象的影响.结果表明:选择氧含量少,尺寸合...
  • 14. 辅助阳极对高功率脉冲磁控溅射放电特性的影响
    作者： 孙梦凡 巩春志 李春伟 田修波 许建平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1422-1430
    摘要： 针对高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)存在的低溅射率靶材放电时离化率有待进一步提高的问题,通过增加辅助阳极的方法来提高HIPIMS的离化率.研究了辅助阳极电压、阳极位置以及磁控阳极的类型对H...
  • 15. 用于激光阵列发生器的非n×n型Danmmann光栅研制
    作者： 冷雁冰 吴博琦 孙艳军 王丽 董连和
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1431-1436
    摘要： 为实现激光阵列发生器点阵列任意排布,研制了一种非n×n型达曼(Danmmann)光栅.本文以严格耦合波分析理论为基础,设计了一种衍射效率较高的4台阶非n×n型Dannann光栅,采用快速傅里...
  • 16. 基于正交试验TiN-Cu电火花加工用电极材料制备
    作者： 张孝冬 张晶晶 王磊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1437-1440
    摘要： 选用TiN粉末和Cu粉末为原料,并且通过球磨、压制、烧结成TiN-Cu电火花加工用(EDM)电极,研究了球磨速度、球磨时间、材料配比对TiN-Cu EDM电极加工性能的影响.通过单因素试验和...
  • 17. 基于DMD光刻制作微柱透镜阵列分模曝光的研究
    作者： 冷雁冰 刘顺瑞 吴博琦 孙艳军 张恒煦 李哲 王丽 董连和
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1441-1445
    摘要： 针对无掩模光刻技术制作微柱透镜阵列的面形精度问题,对曝光方式和掩模设计进行研究,采用一种分模曝光方法,包括图形分层,掩模设计,分层掩模灰度调制,分层曝光四个步骤.在曝光前,需要对二维掩模版图...
  • 18. 40T混合磁体外超导磁体真空系统的研究
    作者： 刘章洋 陈文革 高洋 黄鹏程
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1446-1449
    摘要： 中科院强磁场中心现已完成了40T混合磁体真空系统的研制,并成功运行.该真空系统主要由主抽气管路、分子泵、罗茨泵组、质谱仪、残余气体分析仪等组成.本文讨论了真空系统的设计,真空系统的运行,最后...
  • 19. 一种基于新的向量空间模型的谱库检索算法
    作者： 俞建成 吴焕铭 周义 张俊良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1450-1454
    摘要： 在谱库检索中,可以通过建立向量空间模型,将谱图数据表示为向量空间中的向量,计算向量之间的相似性即可得到谱图的相似程度.本文提出一种新的向量空间模型,并基于新的模型提出谱库检索算法,实验发现,...
  • 20. 氦离子辐照对钨表面形貌的影响及其光学性质的变化
    作者： 刘天伟 孟宪东 朱康伟 王述刚 胡殷 邢颖 龙重
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年12期
    页码:  1455-1460
    摘要： 采用空心阴极法产生高密度氦等离子体对纯钨进行辐照实验,并对氦辐照后钨表面形貌及其性能的变化进行了研究.辐照实验参数:辐照时间分别为0.5,2以及3h,氦离子注入能量约100 eV,束流密度约...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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