真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张晶晶 李海恒 王怡琳 王立辉 白传武 石挺强 陈艳霞
    发表期刊: 2019年2期
    页码:  179-184
    摘要: 探索真空冷冻干燥和高真空微波烧结方法对TiN-Cu电火花加工用(EDM)电极性能的影响.经过高能球磨混合TiN粉末和Cu粉末、浆料制备、干燥、烧结等工艺制备出电火花加工用电极.对比了真空干燥...
  • 作者: 娄利岗 孔祥玲 安跃军 杨天宇 段永利 王光玉 邓文宇 齐丽君
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  185-190
    摘要: 为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机.采用多极少槽的极槽配合方案,减少变频器及供电装置中高...
  • 作者: 孙玉玮 杜春林 王洪兴 马永来
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  191-196
    摘要: 航天器热真空试验过程中,除了要保证环境模拟器的气体压力,航天器内部的气体压力也是影响试验进程、乃至航天器设备安全的重要参数之一.这是由于试验过程中航天器电子设备的测试必须避开容易引起真空放电...
  • 作者: 吴宗跃 杜华娜 杨铁牛 赵蕾蕾 黄尊地
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  197-205
    摘要: 工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要.为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各...
  • 作者: 许海虹
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  206-213
    摘要: 全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用,因此开发一个能够与真空精炼过程相结合的机械真空泵抽气过程计算机仿真工具,以方便系统的设计和研究,显得...
  • 作者: 许海虹
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  214-225
    摘要: 全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用.本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺(RH)真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿...
  • 作者: 冉光泽 孙付春 李玉龙
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  226-229
    摘要: 为兼顾罗茨泵的高容积利用率和高容积效率及动平衡要求,基于普通抛物线转子型线,通过由密封用同心顶突圆弧的设计,大幅提高形状系数和容积利用率;并就顶突抛物线转子的形状系数和容积利用率等,进行与常...
  • 作者: 任志杰 孙玄 霍昆
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  230-236
    摘要: 为对科大全对称串节磁镜(KMAX)装置中等离子体离子能量分布和离子温度进行测量,需要设计一种减速场分析仪,而分析仪测出的数据被认为是复杂的,因为透射率与栅网的结构存在密切关系.结合实际物理环...
  • 作者: 何寿杰 张雅 李庆 渠宇霄 赵凯悦 赵雪娜
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  237-244
    摘要: 为了进一步揭示He/Ar混合气体中空心阴极放电机理,利用流体模型模拟研究了He/Ar混合气体环境下空心阴极放电的放电特性,模拟得到了电势、电子密度、He+和Ar+密度、电场强度的分布特性.本...
  • 作者: 代玉杰 杨舒棉
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  245-248
    摘要: 数值模拟了不同波数时,等离子体粘度的角向扰动磁场的演化规律,并与理想磁流体时的角向扰动磁场进行了比较,得到的主要结论是:等离子体压强较小时,大波数对应的角向扰动磁场为正值,小波数的角向扰动磁...
  • 作者: 余锋 汪继刚 许开熙 黄俊 黄涛
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  249-253
    摘要: 为诊断与分析高压断路器故障,本文提出了基于BP神经网络的高压断路器故障诊断方法.该方法利用高压断路器典型分合闸线圈电流-时间曲线,能反映其机械故障状况的特点,将仿真输出数据与故障编码比较获得...
  • 作者: 刘震
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  254-260
    摘要: 以金属卤盐溶液为前驱液,葡萄糖作为辅助模板,采用一步水热法在180℃@12 h条件下,经煅烧后合成了具有多褶皱的超薄MnCo2O4.5空心微球结构,利用X射线衍射和扫描电镜对形貌进行了表征;...
  • 作者: 何丽娟 孙尚志 张磊 王淑旭 田宝云 马文清
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  261-267
    摘要: 以理想CO2气体为工质,采用Standard k-ε湍流模型,对涡流管能量分离效应进行数值模拟,分析了管内流体总温、总压的分布.在此基础上,探究了进口温度为298.15 K、进口压力为6.5...
  • 作者: 张晓兵 朱卓娅 江寿桂 王昕 雷威
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  268-272
    摘要: X射线相位衬度成像利用X射线穿过样品后的相位变化,通过衍射信息来获得样品的结构特征.X射线相位衬度成像在生物影像、显微成像以及材料科学研究中有重要的应用.如果X射线成像样品物质密度比较低,它...
  • 作者: 刘凡 刘晓静 吴强运 张土轩 张方圆 张鸣凤 章易程 郭员畅
    发表期刊: 2019年3期
    页码:  273-278
    摘要: 采用计算流体力学软件Fluent对吹吸式清扫流场进行计算,借助对分法分析吹嘴吹口最小间隙对吹风速度的影响,并且采用正交试验设计方法,全面分析吹吸式清扫性能的影响因素,对不同影响因素的参数组合...
  • 作者: 周雪茜 喻新发 孙立臣 窦仁超 窦威 赵月帅 闫荣鑫
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  279-283
    摘要: 氙气充装特性计算与评估是航天器电推进系统应用的关键因素之一,通过试验及应用国内外试验数据库,建立了氙气工质全区域修正性的经典热力学状态方程、经验方程及多参数方程,比较分析了三种不同计算模型在...
  • 作者: 王虎军
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  284-287
    摘要: 磁流体密封具有低磨损、零泄漏、高寿命等优点,已经被广泛地应用于气体密封中.然而,当用磁流体旋转密封液体时,被密封液体与磁流体在运动过程中存在复杂的物理过程,导致磁流体密封性能较差.本文理论分...
  • 作者: 于振华 姜彪 孙立臣 李明利 王旭迪 王永健 甘婧
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  288-292
    摘要: 随着分子流漏孔的广泛应用,迫切需要一种制作简单、成本低廉且流导可控的分子流漏孔制作方法.本文基于阳极多孔氧化铝(AAO)模板,利用打孔硅片作为掩膜和支撑材料,制作出不同有效面积的AAO新型分...
  • 作者: 刘兴悦 刘胜 崔寓淏 师立侠 王凯
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  293-296
    摘要: 全氟三乙胺液态工质在航天器密封管路中的应用日益广泛,因此,对其泄漏率测试的需求不断提升.为了实现全氟三乙胺的泄漏率测试,需要研制漏率已知的液体标准漏孔作为对比装置来进行泄漏率的定量测试.基于...
  • 作者: 卢耀文 宋瑞海 延峰 柏向春 董云宁 邵壮 魏萌萌
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  297-303
    摘要: 针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析.装置适用于10...
  • 作者: 刘宝 张业明 张柯 韩威震
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  304-309
    摘要: 为研究进气压力对真空发生器性能的影响,利用Fluent软件对真空发生器内部流场进行数值模拟.仿真范围内,通过对真空口处压强、引射效率、气体沿轴线的速度与压强,以及发生器失效的讨论分析,得到如...
  • 作者: 万成安 孙晓峰 张宝林 李华 李杨 李松玲
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  310-315
    摘要: 随着我国航天产品的小型化、轻量化、高可靠要求的不断提高,以厚膜功率电源模块逐渐取代传统的基于印制板的电子产品,广泛应用.厚膜产品由于尺寸小、电路密集、焊盘间距小、装配密度高等特点,在装联过程...
  • 作者: 孙宇辉 李飞 段海霞 王建 赵建东
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  316-325
    摘要: 根据W波段行波管的设计要求,考虑加工设备的固有精度,编写测量程序,实现了折叠波导多周期微结构的自动精密测量.实际应用时,利用视频影像测量显微镜、工具显微镜、激光共聚焦显微镜和高度计完成了W波...
  • 作者: 刘忠伟 李森 潘杰 王琳 陈强 陈辰
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  326-331
    摘要: 实验以氩气和氩气掺杂氮气作为放电气体,在大气压条件下使用13.56 MHz射频电源进行双介质以及单介质阻挡放电.实验记录了气体击穿后随电源功率增大的I-V曲线,同时使用ICCD照相机以及单反...
  • 作者: 唐德礼 张帆 李平川 赵杰 金凡亚
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  332-337
    摘要: 对于阳极层霍尔离子源装置本身,宽能、大束流、低气耗及低污染等指标是新一代装置的研发方向.基于拓宽装置放电电压范围的考虑,针对装置现有结构,进行了三维数值仿真建模.在现有装置的结构设计基础上,...
  • 作者: 刘佳慧 叶冰清 杨尊先 郭太良 阮玉帅
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  338-344
    摘要: 材料的结构形貌对其应用起到至关重要的作用,中空结构因其独特的结构特征广泛应用于催化,气体储存,锂离子电池等领域.本文首先通过调控表面活性剂CTAB制备出大小一致的沸石咪唑骨架(ZIF-8)立...
  • 作者: 于振华 姜彪 孙立臣 孟冬辉 李明利 王旭迪 王永健 甘婧
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  345-349
    摘要: 提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1μm的沟槽结构密封成微通道,利用铟熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氦质谱检漏仪对其漏率测...
  • 作者: 姬向锋
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  350-353
    摘要: 从实际工作现场一例真空自耗电弧炉辅助电极锁紧结构气压过低造成保护跳闸事件,思考气压保护的设计缘由,从而系统地对电弧炉辅助电极锁紧结构的发展过程进行了详尽的说明,并对在现有锁紧结构下的使用提出...
  • 作者: 于远航 刘石神 崔维鑫 徐增闯
    发表期刊: 2019年4期
    页码:  354-359
    摘要: 为验证红外地球敏感器标定组件摆动电机固体润滑轴承设计寿命是否满足在轨10年的指标要求,对2套标定组件进行了地面真空寿命试验验证.寿命试验结束后对标定组件性能进行复测,并对轴承内外圈滚道、滚珠...
  • 作者: 何新智 李德才 王礼 苗玉宾
    发表期刊: 2019年5期
    页码:  361-366
    摘要: 相比于机械密封、填料密封、迷宫密封等传统密封形式,磁性液体密封具有“零”泄漏、耗能少和可靠性高的特点.目前,用于密封气体的磁性液体密封技术已经趋于成熟且具有稳定的商业应用.相比之下,用磁性液...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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