铟封接和硅硅键合技术制作微通道型固定流导元件

• 作者: 于振华 姜彪 孙立臣 孟冬辉 李明利 王旭迪 王永健 甘婧
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 固定流导元件 微通道 硅直接键合 铟封接 分子流
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 345-349
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.12

摘要

提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1μm的沟槽结构密封成微通道,利用铟熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氦质谱检漏仪对其漏率测试.测量结果表明,固定流导元件的流导测量值与理论计算值接近,相对误差不超过22.2%.氦气作为测量气体时,固定流导元件能够从高真空到30000 Pa压强下实现分子流状态,即流导恒定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于振华	合肥工业大学机械工程学院	23	144	7.0	11.0
2	王旭迪	合肥工业大学机械工程学院	40	192	9.0	12.0
3	孙立臣		68	159	6.0	9.0
4	孟冬辉		30	75	6.0	7.0
5	王永健	合肥工业大学机械工程学院	4	1	1.0	1.0
6	姜彪	合肥工业大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
7	甘婧	合肥工业大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
8	李明利		9	3	1.0	1.0