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SOI／SIMNI和SOI／SIMOX氧化特性的研究
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研究主题发展历程
节点文献
SOI/SIMNI
SOI/SIMOX
氧化特性
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
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3
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