利用等离子MOCVD法生长InP晶体

内藤正美; 张国海

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利用等离子MOCVD法生长InP晶体

利用等离子MOCVD法生长InP晶体

作者：

内藤正美张国海

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MOCVD法

等离子

InP晶体

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文献信息

篇名	利用等离子MOCVD法生长InP晶体
来源期刊	光纤通信技术	学科	工学
关键词	MOCVD法等离子 InP晶体
年，卷（期）	1989,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	34-38
页数	5页	分类号	TN304.22
字数		语种	中文
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