(111)A InP衬底上MOCVD外延InGaAsP的表面形貌和光学特性

• 作者: 于丽娟 刘瑞东 张福甲 芦秀玲 黄永箴
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: V/Ш比 表面形貌 光学特性 (111)A InGaAsP
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 87-91
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 字数: 1631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.02.003

摘要

为了研究(111)衬底的特性以及实现等边三角形微腔激光器,利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)研究了(111)A InP衬底上InGaAsP外延层的表面形貌和光学特性.考虑到(111)A InP衬底的悬挂键密度比较低,在生长过程中有意提高了V/Ш比.通过扫描电子显微镜(SEM)和光荧光(PL)谱分别研究了外延层的表面形貌和光学特性.实验发现,表面形貌和光学特性随V/Ш比和温度的变化非常大.最佳V/Ш比和温度分别为400和625 ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张福甲	兰州大学物理科学与技术学院	71	318	9.0	14.0
2	刘瑞东		1	0	0.0	0.0
6	于丽娟		1	0	0.0	0.0
7	芦秀玲		1	0	0.0	0.0
8	黄永箴		3	3	1.0	1.0