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磁控溅射法制备金/钆柱腔工艺研究
金/钆柱腔
磁控溅射
多层膜
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磁控溅射
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磁控溅射
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射频磁控溅射
羟基磷灰石
涂层
生物活性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 平面磁控溅射法制备的Fe/Al多层膜的结构与磁性
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 磁控溅射 Fe/Al 多层膜 结构 磁性
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-8
页数 8页 分类号 TM27
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研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
Fe/Al
多层膜
结构
磁性
研究起点
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研究分支
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相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
总下载数(次)
1
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