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平面磁控溅射法制备的Fe/Al多层膜的结构与磁性
平面磁控溅射法制备的Fe/Al多层膜的结构与磁性
作者:
王剑峰
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磁控溅射
Fe/Al
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结构
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篇名
平面磁控溅射法制备的Fe/Al多层膜的结构与磁性
来源期刊
薄膜科学与技术
学科
工学
关键词
磁控溅射
Fe/Al
多层膜
结构
磁性
年,卷(期)
1991,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-8
页数
8页
分类号
TM27
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薄膜科学与技术
主办单位:
南京电子器件研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
南京1601信箱43分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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327
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