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用RF诱发热等离子体化学汽相沉积方法高速沉积大面积金刚石
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文献信息
| 篇名 | 用RF诱发热等离子体化学汽相沉积方法高速沉积大面积金刚石 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 金刚石膜 化学汽相沉积 热等离子体 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 70-72 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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金刚石膜
化学汽相沉积
热等离子体
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