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陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控
金属化
薄膜
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阻蚀胶
基片曲率法
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成膜控制
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初应力
薄膜
压电介质
广义Rayleigh波
相速度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 薄膜中的应力
来源期刊 电子材料快报 学科 物理学
关键词 薄膜 应力 X射线 测量
年,卷(期) 1996,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-14
页数 2页 分类号 O484.2
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节点文献
薄膜
应力
X射线
测量
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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