实时测量器件中光学薄膜厚度的新方法研究

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 光学反射比 厚度
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 页码范围: 441-443
• 页数: 3页
• 分类号: TB302
• 语种: 中文

摘要

从薄膜光学理论出发,阐述了利用光学反射比实时测量特种器件中光学薄膜厚度的原理,介绍了测试仪器,分析了测试结果.在已知基底的折射率、光学薄膜的折射率、消光系数及入射光波长的情况下,可计算出光学薄膜的反射比随厚度变化的理论曲线,实验曲线与理论曲线相比较,可实时获得薄膜的厚度信息,这对控制薄膜工艺很有益处.