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用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究
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摘要：
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微波等离子体溅射ansamitocin产生菌诱变选育高产菌株的研究
微波等离子体
溅射
Ansamitocin
S.nocardia
蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究
蓝宝石
清洗
氮化
RHEED
GaN
甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜
DLC薄膜
微观结构
等离子体
电流密度
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电沉积
ECR离子源微波窗损伤机理研究
电子回旋共振离子源
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物理学报
主办单位：
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1000-3290
CN：
11-1958/O4
开本：
大16开
出版地：
北京603信箱
邮发代号：
2-425
创刊时间：
1933
语种：
chi
出版文献量（篇）
23474
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