TFT栅线及阵列的缺陷分析

• 作者: 柳江虹 马凯
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT器件 阵列缺陷 刻蚀
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 126-130
• 分类号: TN14
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.008

摘要

对TFT(Thin Film Transistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析.在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率,改善显示质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马凯	中国科学院长春物理研究所北方液晶工程研究开发中心	11	209	6.0	11.0
2	柳江虹	中国科学院长春物理研究所北方液晶工程研究开发中心	3	10	2.0	3.0