多晶硅薄膜晶体管特性的研究

• 作者: 周晨立 龚仁喜
• 来源期刊: 宝鸡文理学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEDICI 薄膜晶体管 特性 模拟
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 博士论坛
• 页码范围: 50-52
• 分类号: O731|TN321.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1261.2000.01.005

摘要

利用高级二维器件模拟程序MEDICI分析了多晶硅薄膜晶体管有源区的长度、体内陷阱、界面陷阱、栅氧化层厚度等几何参数及物理参数,并研究了这些参数对薄膜晶体管特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚仁喜	广西大学电气工程学院	89	835	17.0	25.0
2	周晨立	宝鸡文理学院物理系	2	19	1.0	2.0