作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
传输片、预对准、调平及预调焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分,其精度和运行可靠性对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产生重大影响.介绍了0.8~1μm分步重复投影光刻机传输片、预对准、调平及预调焦控制系统的组成及控制软件;分析了预对准、机械手上片、调平及预调焦的精度和运行可靠性,并给出了研制结果.
推荐文章
光刻机E-Pin升降机构的控制系统设计
DSP2812
E-PIN升降机构
光刻机
音圈电机
PMAC运动控制器在光刻机控制系统中的应用
可编程多轴运动控制器
光刻机
可编程序控制器
基于PMAC的光刻机隔振试验台控制系统的设计
开放式数控系统
PMAC
运动控制器
同步控制
光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计
三自由度调平控制
DSP TMS320C6414
掩膜台
光刻机
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 0.8~1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 传输片 预对准 调平 预调焦 机械手
年,卷(期) 2000,(4) 所属期刊栏目 论文·研制报告
研究方向 页码范围 30-34
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 3902字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 罗正全 中国科学院光电技术研究所 18 69 5.0 7.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (8)
同被引文献  (4)
二级引证文献  (0)
2000(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2006(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2007(5)
  • 引证文献(5)
  • 二级引证文献(0)
2015(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2017(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
传输片
预对准
调平
预调焦
机械手
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
总被引数(次)
10002
论文1v1指导