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0.8~1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制
0.8~1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制
作者:
罗正全
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
传输片
预对准
调平
预调焦
机械手
摘要:
传输片、预对准、调平及预调焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分,其精度和运行可靠性对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产生重大影响.介绍了0.8~1μm分步重复投影光刻机传输片、预对准、调平及预调焦控制系统的组成及控制软件;分析了预对准、机械手上片、调平及预调焦的精度和运行可靠性,并给出了研制结果.
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文献信息
篇名
0.8~1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制
来源期刊
电子工业专用设备
学科
工学
关键词
传输片
预对准
调平
预调焦
机械手
年,卷(期)
2000,(4)
所属期刊栏目
论文·研制报告
研究方向
页码范围
30-34
页数
5页
分类号
TN305.7
字数
3902字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
罗正全
中国科学院光电技术研究所
18
69
5.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
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(0)
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(8)
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2017(1)
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二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
传输片
预对准
调平
预调焦
机械手
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号:
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
3731
总下载数(次)
31
总被引数(次)
10002
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