基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制

• 作者: 刘理天 李志坚 谭智敏 陈兢
• 来源期刊: 声学学报
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TB5
• 语种: 中文

摘要

基于微电子机械系统(MEMS)技术的微传声器是当前国际上研究的热点.使用MEMS工艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力,极大的降低了膜的机械灵敏度.理论分析和数值模拟表明,纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下,显著的降低残余应力的不良影响,大幅度增加膜的灵敏度.本文提出了一种使用MEMS技术制作的纹膜结构电容式微传声器,其制作工艺简单、重复性好,所用材料也能与IC工艺很好的兼容.圆片级测试的结果表明,在10 V的偏置电压下,这种微传声器在7 kHz以下具有平直的频响,开路灵敏度可达40 mv/Pa,而其占用的芯片面积仅为1.5×1.5 mm2.进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内,形成完整的微声学系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天		230	1519	19.0	23.0
2	李志坚		84	451	11.0	15.0
3	谭智敏		18	114	7.0	9.0
4	陈兢		7	54	4.0	7.0