掺杂对纳米ZnO薄膜结构的影响

• 作者: 季秉厚 宋淑芳 李健
• 来源期刊: 内蒙古大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米ZnO薄膜 掺杂 结构
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 704-706
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1953字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1638.2001.06.029

摘要

采用真空蒸发法和热氧化制备纳米ZnO薄膜,分析掺杂对薄膜结构的影响.实验发现,掺入一定比例的In,可以得到沿c轴择优取向的纳米ZnO薄膜,薄膜结晶度有所下降,影响薄膜沿c轴的择优取向.掺Sb可以得到沿c轴择优取向的纳米ZnO薄膜掺.Bi可以改善结晶度,获得强烈沿c轴的择优取向的薄膜.实验发现随In含量的增加,薄膜晶粒尺寸逐渐减小,随Sb含量的增加,晶粒尺寸逐渐增加,而Bi含量的变化对晶粒尺寸基本没有影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋淑芳	中国科学院半导体研究所	11	65	5.0	7.0
3	李健	内蒙古大学新能源研究中心	36	200	7.0	12.0
6	季秉厚	内蒙古大学新能源研究中心	10	106	5.0	10.0