不同Al掺杂对ZnO薄膜结构及光学性质的影响

• 作者: 丁继军 史新福 周婷婷 毛雷鸣 袁玉凤 马书懿
• 来源期刊: 西北师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射法 Al-ZnO薄膜 掺杂 透射
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: O469|TB383
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-988X.2009.05.011

摘要

采用磁控溅射法(RF)在玻璃衬底上沉积不同Al含量的ZnO薄膜,利用X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外分光光度计研究了不同浓度的掺杂对薄膜结构和光学性能的影响.结果显示:所有样品都呈现出较强的(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;薄膜表面平整光滑,晶界较明显;薄膜的平均透射率均在85%以上,并随着Al掺杂量的增加而降低;随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小,吸收边先蓝移,后红移.这与量子限制模型计算结果的变化趋势完全一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马书懿	西北师范大学物理与电子工程学院	69	226	8.0	11.0
2	周婷婷	西北师范大学物理与电子工程学院	4	22	3.0	4.0
3	史新福	西北师范大学物理与电子工程学院	3	19	2.0	3.0
4	毛雷鸣	西北师范大学物理与电子工程学院	3	19	2.0	3.0
5	丁继军	西北师范大学物理与电子工程学院	4	25	3.0	4.0