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微电子机械系统／微光学电子机械系统的特性及应用
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摘要：
本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。
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微电子机械系统
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期刊影响力
电子元器件应用
主办单位：
中国电子元件行业协会
出版周期：
月刊
ISSN：
1563-4795
CN：
开本：
大16开
出版地：
西安市科技路37号海星城市广场B座240
邮发代号：
创刊时间：
1999
语种：
chi
出版文献量（篇）
5842
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