软光刻技术

• 作者: 刘伟庭 洪吉 陈裕泉
• 来源期刊: 国外医学(生物医学工程分册)
• 学科: 工学
• 关键词: 软光刻 微结构制造 纳米技术
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 134-137,141
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 2806字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3760/cma.j.issn.1673-4181.2001.03.009

摘要

本文介绍了国外新出现的微结构制造技术--软光刻技术,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法.讨论了软光刻的几个关键技术:自组织形成的单层有机膜、弹性模、微印刷技术、再铸模、微传递成模、毛细管成模、溶剂辅助成模.并且阐述了软光刻技术在光刻技术难以实现的拓扑结构、材料以及分子尺寸领域上的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈裕泉	浙江大学生物传感器国家专业实验室	88	1194	20.0	28.0
2	刘伟庭	浙江大学生物传感器国家专业实验室	8	70	4.0	8.0
3	洪吉	浙江大学生物传感器国家专业实验室	1	22	1.0	1.0