基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化

• 作者: 王向东 王守觉 石林初 陈咏梅
• 来源期刊: 自动化学报
• 学科: 工学
• 关键词: 神经网络 芯片制造 工序能力指数 提高成品率
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 289-295
• 页数: 7页
• 分类号: TP1
• 字数: 4501字
• 语种: 中文

摘要

以提高半导体生产线的成品率为目标，利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化.首先使用神经网络方法建立模型，确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系，构造多维映射函数曲面；随后对多维映射函数曲面进行搜索，搜索成品率最高的最优点，据此确定工艺参数的规范值；最后，根据优化后的工艺参数规范进行实际生产.采用这种优化建议，半导体生产线的平均成品率由51.7%提高到了57.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王守觉	中国科学院半导体研究所	98	2686	26.0	49.0
2	石林初	华晶电子集团公司双极设计所	2	13	1.0	2.0
3	王向东	中国科学院半导体研究所	26	149	6.0	11.0
4	陈咏梅	中国科学院半导体研究所	3	82	3.0	3.0