EBSP对磁控溅射铟的晶化组织的研究

• 作者: 刘豫东 张钢 朱继满 马莒生
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 铟 磁控溅射 EBSP
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 266-270
• 页数: 5页
• 分类号: TG113|TN213
• 字数: 2500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2002.04.007

摘要

铟广泛应用于光电器件的封装互连中.这是因为铟独特的性质能够满足光电器件,尤其是能满足红外器件封装时对互连材料的要求:低互连温度,低温工作条件下良好的机械性能.研究铟的组织和性能间的关系十分重要,但是在室温时用常规的金相方法获得铟真实的原始组织却很困难,常规的金相方法通常会获得假相.因为室温下的铟处于它的热加工区域,常规的金相制样过程会导致铟的动态回复和再结晶.用扫描电镜的 EBSP 技术直接观察按真实工艺步骤沉积的铟的原始组织,发现铟以多晶态存在,平均晶粒尺寸为 1.26 μm,并且在 9 μm×9 μm 局部范围内没有织构存在;铟的纳米硬度是 19.73 MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马莒生	清华大学材料系	58	894	16.0	29.0
2	张钢		4	9	2.0	2.0
3	刘豫东	清华大学材料系	10	32	3.0	4.0
4	朱继满	清华大学材料系	6	33	3.0	5.0