掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究

• 作者: 李健 赛喜雅勒图 郝丽娟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空蒸发 纳米ZnO薄膜 掺杂
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 212-215
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.03.015

摘要

研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能.结果显示,在500 ℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性,薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小.掺Nd使ZnO薄膜的电性能有所改善但使纳米ZnO薄膜的光透射性有所降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学物理系	36	200	7.0	12.0
2	赛喜雅勒图	内蒙古大学物理系	1	16	1.0	1.0
3	郝丽娟	内蒙古大学物理系	1	16	1.0	1.0