微机电系统计算机辅助设计的研究

• 作者: 卢凉 杜平安 黄志奇
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 计算机辅助设计(CAD) 体系结构 模拟 宏模型
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 477-479,484
• 页数: 4页
• 分类号: TN492
• 字数: 3215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2003.06.003

摘要

微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础.文章介绍了MEMS CAD的概况和技术特点,提出了一种MEMS CAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次,重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜平安	电子科技大学机械电子工程学院	121	2000	22.0	40.0
2	黄志奇	电子科技大学机械电子工程学院	17	173	7.0	12.0
3	卢凉	电子科技大学机械电子工程学院	4	53	2.0	4.0