Fe/Cu巨磁阻多层薄膜的XPS研究

• 作者: 佟富强 张伟 葛昕 郑大方 陈旭
• 来源期刊: 吉林大学学报(理学版)
• 学科: 工学
• 关键词: Fe/Cu多层薄膜 磁控溅射 合金 结构分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TG146.1
• 字数: 1257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2003.01.025

摘要

利用磁控溅射方法在Si衬底上制备了Cu/Fe多层薄膜, 采用XPS方法及Ar离子对薄膜样品进行刻蚀. 研究表明, 在多层薄膜的溅射界面存在合金, 并观测到溅射层向基体扩散的现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	江南大学信息工程与科学学院	76	368	10.0	14.0
2	陈旭	吉林大学材料科学与工程学院	44	158	5.0	11.0
3	郑大方	吉林大学测试科学实验中心	9	168	6.0	9.0
4	佟富强	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	6	19	2.0	4.0
5	葛昕	吉林大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0