磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒

• 作者: 李玲 石礼伟 薛成山
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 ZnO 纳米颗粒 SiO2 多孔网络
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2075字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌/二氧化硅基质(Zn/SiO2)复合薄膜.在空气中600℃退火60 min,从SiO2基质中析出的金属Zn被空气中O2氧化生成了ZnO纳米颗粒,并形成了SiO2多孔网络结构.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对样品的组成、结构、表面形貌及发光特性进行了分析.结果表明,生成的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,呈近椭圆形,平均尺寸在65 nm左右.在280 nm光激发下,有较强的370 nm近带边激子跃迁紫外光发射和峰位在460 nm处较弱的蓝色发光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛成山		5	21	2.0	4.0
2	石礼伟		2	14	2.0	2.0
3	李玲		1	11	1.0	1.0