基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
利用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌/二氧化硅基质(Zn/SiO2)复合薄膜.在空气中600℃退火60 min,从SiO2基质中析出的金属Zn被空气中O2氧化生成了ZnO纳米颗粒,并形成了SiO2多孔网络结构.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对样品的组成、结构、表面形貌及发光特性进行了分析.结果表明,生成的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,呈近椭圆形,平均尺寸在65 nm左右.在280 nm光激发下,有较强的370 nm近带边激子跃迁紫外光发射和峰位在460 nm处较弱的蓝色发光.
推荐文章
射频磁控溅射法制备FC/ZnO杂化材料及其基本性质
磁控溅射法
杂化材料
表面形貌
紫外吸收
表面结构
接触角
磁控溅射制备参数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
磁控溅射
ZnO薄膜
射频功率
结晶性
射频磁控溅射法制备硼薄膜
硼薄膜
射频磁控溅射
制备
形貌表征
成分分析
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 磁控溅射 ZnO 纳米颗粒 SiO2 多孔网络
年,卷(期) 2004,(3) 所属期刊栏目 薄膜技术
研究方向 页码范围 29-32
页数 4页 分类号 TN305.7
字数 2075字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 薛成山 5 21 2.0 4.0
2 石礼伟 2 14 2.0 2.0
3 李玲 1 11 1.0 1.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (14)
共引文献  (26)
参考文献  (6)
节点文献
引证文献  (11)
同被引文献  (12)
二级引证文献  (12)
1983(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1984(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1992(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1996(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1997(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1998(5)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(5)
1999(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2001(3)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(0)
2003(3)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(0)
2004(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2005(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2008(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2009(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2010(3)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(1)
2011(3)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(1)
2012(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
2013(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
2014(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
2015(3)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(2)
2016(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2017(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2019(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
ZnO
纳米颗粒
SiO2
多孔网络
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导