热处理对ZnO:Al薄膜的结构、光学和电学性质的影响

• 作者: 于文华 刘益春 陈艳伟
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:Al薄膜 光致发光 电学性质 结构性质 Van der Pauw测试
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 345-353
• 页数: 9页
• 分类号: O4
• 字数: 4012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-7275.2004.03.012

摘要

用电子束蒸发技术在石英衬底上制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)透明导电薄膜,并对其退火前后的结构和光电性质进行了研究.X射线衍射实验结果表明所制备样品均具有c轴择优取向的六角多晶结构.光致发光谱由较强的紫外发光和弱深能级缺陷发光组成.薄膜具有较高的透射率、电导率和载流子浓度.Hall效应测试结果表明薄膜为简并n型半导体,室温电阻率为6.7×10-4 Ω·cm,载流子浓度在1020 cm－3量级.研究了其导电机理及载流子的输运机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈艳伟	东北师范大学先进光电子功能材料研究中心	10	32	3.0	5.0
3	于文华	东北师范大学先进光电子功能材料研究中心	4	19	2.0	4.0
4	刘益春	东北师范大学先进光电子功能材料研究中心	22	181	9.0	12.0