高温退火处理的磷化铟中的深能级缺陷

• 作者: 曾一平 李晋闽 段满龙 董志远 赵有文
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 工学
• 关键词: 磷化铟 深能级缺陷 退火气氛
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 510-515
• 页数: 6页
• 分类号: TB3
• 字数: 3313字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2004.05.003

摘要

用深能级瞬态谱(DLTS)研究了高温退火处理后磷化铟中的深能级缺陷.在退火前以及纯磷和磷化铁气氛下,退火后低阻磷化铟中的深能级缺陷的数量和浓度明显不同,磷化铁气氛下退火后的磷化铟中只有0.24和0.64 eV两个缺陷,而纯磷气氛下退火后的磷化铟中可测到0.24,0.42,0.54和0.64 eV4个缺陷,退火前的原生磷化铟样品中有的只有0.49和0.64 eV两个缺陷,有的只有0.13 eV一个缺陷.根据这些结果,讨论了退火气氛对缺陷的产生和抑制作用的物理机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晋闽	中国科学院半导体研究所材料科学中心	75	652	13.0	23.0
2	曾一平	中国科学院半导体研究所材料科学中心	85	439	11.0	16.0
3	赵有文	中国科学院半导体研究所材料科学中心	42	217	7.0	11.0
4	董志远	中国科学院半导体研究所材料科学中心	25	154	7.0	11.0
5	段满龙	中国科学院半导体研究所材料科学中心	11	95	5.0	9.0