激光刻蚀技术的应用

• 作者: 刘建生 吕福云 李超 杜永超 王宏杰 董兆辉 郭文刚
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 激光标识 光学狭缝 硅片
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 469-472
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2276.2004.05.008

摘要

对激光刻蚀过程中的气化现象进行了热力学分析,根据不同的材质合理地选取工作条件,进行了激光狭缝刻制、太阳电池硅片打孔及激光标识的试验,并对刻蚀结果进行了对比分析,得出与理论分析相符的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕福云	南开大学物理科学学院	108	947	16.0	21.0
2	王宏杰	南开大学物理科学学院	42	283	10.0	14.0
3	郭文刚	南开大学物理科学学院	15	142	8.0	11.0
4	董兆辉	南开大学物理科学学院	2	43	2.0	2.0
5	杜永超	中国电子科技集团公司第十八研究所	11	77	5.0	8.0
6	李超	中国电子科技集团公司第十八研究所	23	81	5.0	8.0
7	刘建生	中国电子科技集团公司第十八研究所	2	43	2.0	2.0