ITO薄膜的制备方法与应用

• 作者: 周怀营 职利
• 来源期刊: 桂林电子工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 制备方法 应用
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2004.06.014

摘要

ITO薄膜具有优越的光电性能,在高科技领域中有着重要的用途,如液晶显示、太阳能电池等.磁控溅射法、化学气相沉积(CVD)法、喷雾热分解法、溶胶-凝胶法是目前制备ITO薄膜常用的方法.水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技术,具有成膜大面积化、成本低且易于产业化等优点,该法的应用将极大地推动国内制膜技术的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周怀营	桂林电子工业学院信息材料科学与工程系	71	324	10.0	13.0
2	职利	桂林电子工业学院信息材料科学与工程系	10	61	4.0	7.0