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摘要:
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厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究
MEMS换能元
金属薄膜
尺度效应
电阻率
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磁控溅射
利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究
方形四探针
硅基片
薄膜电阻
测试技术
不同厚度纳米Ti薄膜的力学性能
薄膜
纳米压痕
分形维数
力学性能
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 厚度0.4mm的薄膜电阻阵列
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 Vishay公司 PR系列 薄膜电阻阵列 性能
年,卷(期) 2004,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 A001
页数 1页 分类号 TM54
字数 语种
DOI
五维指标
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
Vishay公司
PR系列
薄膜电阻阵列
性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
11366
论文1v1指导