衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和电学性质的影响研究

• 作者: 夏姣贞 潘孝任 阴其俊 陆慧
• 来源期刊: 化学物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 衬底温度 晶体结构 应力 阻抗谱
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1034-1038
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2790字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0068.2005.06.037

摘要

由GDARE法在较低温度下,以玻璃为衬底沉积ZnO薄膜,用SEM、 AFM、 XRD及交流阻抗谱测量等方法研究了衬底温度对薄膜表面形貌、晶体结构以及晶体导电性质的影响.研究结果表明,室温下沉积的薄膜为颗粒致密的非晶相结构,晶界电阻较小.在衬底温度大于50 ℃时,由GDARE法可沉积出具有一定c轴取向的ZnO薄膜.随衬底温度的升高,薄膜沿c轴择优生长趋势明显增强,内应力减小,晶界效应增强,晶界电阻增大.衬底温度大于100 ℃后,沿c轴的取向度增强趋势减缓.在衬底温度180～200 ℃时,可获得高度c轴取向的ZnO超细微粒薄膜,其结晶性能良好,表面光滑,平均粒径30～40 nm,晶粒尺寸均匀,晶形规则,沿c轴的内应力很小,取向度达0.965.此时薄膜的晶界效应增强,晶界电阻明显大于室温下沉积的薄膜,而晶粒电阻所占比例很小,总阻抗以晶界电阻为主.同时还讨论了衬底温度对薄膜晶体结构及晶界特性的影响机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆慧	华东理工大学物理系	20	99	6.0	9.0
2	阴其俊	华东理工大学物理系	11	36	4.0	5.0
3	夏姣贞	华东理工大学物理系	2	11	2.0	2.0
4	潘孝任	华东理工大学物理系	1	6	1.0	1.0