陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响

• 作者: 万之坚 张厚兴 张立明 李海峰 王文静 许颖 黄勇
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷衬底 多晶硅薄膜 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 页码范围: 1152-1154
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.1
• 字数: 1355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.z2.147

摘要

通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.