ZnO同质p-n结的研究

• 作者: 刘洪图 徐传明 徐军 杨晓杰 许小亮 谢家纯
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 同质 p-n结 p型
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 101-104
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1|O475|O432.1+2
• 字数: 3527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.z1.026

摘要

调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主V0的形成焓,降低本征受主VZn和Oi的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到性能可观的ZnO同质p-n结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢家纯	中国科技大学物理系	5	20	3.0	4.0
2	徐军	中国科技大学物理系	4	21	4.0	4.0
3	许小亮	中国科技大学物理系	45	402	12.0	18.0
7	杨晓杰	中国科技大学物理系	1	4	1.0	1.0
8	徐传明	中国科技大学物理系	1	4	1.0	1.0
12	刘洪图	中国科技大学物理系	1	4	1.0	1.0