AlGaInP/GaAs外延层的倒易空间图分析

• 作者: 吴文光 李华兵 王浩 范广涵 陈练辉 陈贵楚
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaInP/GaAs X射线衍射 倒易点二维图
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 55-59
• 页数: 5页
• 分类号: TN209
• 字数: 3080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5463.2005.01.012

摘要

介绍了倒易点二维图的概念,分析了AlGaInP/GaAs外延层的倒易点二维图,阐明其倒易点二维图的展宽方向和原因,获得了应变及晶面弯曲等方面的信息,为优化AlGaInP四元系发光二极管的外延工艺提供了更丰富的信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范广涵	华南师范大学光电子材料与技术研究所	147	1064	16.0	26.0
2	陈贵楚	华南师范大学光电子材料与技术研究所	18	46	5.0	6.0
3	陈练辉	华南师范大学光电子材料与技术研究所	11	27	3.0	4.0
4	李华兵	华南师范大学光电子材料与技术研究所	6	6	2.0	2.0
5	吴文光	华南师范大学光电子材料与技术研究所	6	6	2.0	2.0
6	王浩	华南师范大学光电子材料与技术研究所	14	108	5.0	10.0