SOI CMOS器件及其应用

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: SOI技术 SOI CMOS器件 薄膜SOI CMOS器件 应用
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TN432

摘要

介绍SOI技术及其形成方法。介绍SOI CMOS器件的优点、全耗尽(FD)SOI CMOS器件的特点及其应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		95	534	13.0	18.0