甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究

• 作者: 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 王岩 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微晶硅太阳电池 甚高频等离子体增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 1899-1903
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2557字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.078

摘要

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术成功地制备了不同硅烷浓度和辉光功率条件下的微晶硅电池.电池的J-V测试结果表明:在实验的硅烷浓度和功率范围内,随硅烷浓度的降低和功率的加大,对应电池的开路电压逐渐变小;硅烷浓度的不同对电池的短路电流密度有很大的影响,但功率的影响在实验研究的范围内不是很显著.对于微晶硅电池,N层最好是非晶硅,这是因为一方面可以降低对电流的横向收集效应,另一方面也降低了电池的漏电概率,提高了电池的填充因子.