衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响

• 作者: 宗占国 宫杰 王丽丽 王欣 郑伟涛
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Fe-N薄膜 衬底温度 磁性能
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 页码范围: 1838-1842
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2005.11.034

摘要

采用直流磁控溅射方法,以Ar和N2作为放电气体,在单晶Si(100)衬底上沉积了Fe-N薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)和超导量子干涉仪(SQUIDS)对所制备的样品进行了结构、成分、形貌和磁性能分析,研究了衬底温度对薄膜的结构、形貌和磁性能的影响.结果表明:衬底温度对Fe-N薄膜的结构有重要的影响,通过控制衬底温度可以获得单相γ′-Fe4N化合物薄膜;γ′-Fe4N具有较高的饱和磁化强度,是非常有应用前景的磁记录介质及磁头功能材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽丽	长春大学应用物理研究所	49	108	6.0	8.0
3	宫杰	长春大学应用物理研究所	13	28	3.0	4.0
4	宗占国	长春大学应用物理研究所	14	116	5.0	10.0
7	王欣		1	3	1.0	1.0
8	郑伟涛		1	3	1.0	1.0