衬底温度对PLD制备的Mo薄膜结构及表面形貌的影响

• 作者: 吴卫东 唐永建 邢丕峰 雷洁红
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 Mo薄膜 表面粗糙度 结晶度
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 377-380
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1754字
• 语种: 中文

摘要

运用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)基片上沉积了金属Mo薄膜.在激光重复频率2 Hz,能量密度5.2 J/cm2,本底真空10-6 Pa的条件下,研究Mo薄膜的结构和表面形貌,讨论了衬底温度对薄膜形貌与结构的影响.原子力显微镜(AFM)图像和X射线小角衍射(XRD)分析表明,薄膜表面平整、光滑,均方根粗糙度小于2 nm.沉积温度对Mo薄膜结构和表面形貌影响较大,在373～573 K范围内随着温度升高,薄膜粗糙度变小,结晶程度变好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
4	雷洁红	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	13	51	4.0	6.0