毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

• 作者: 唐晓宁 李振波 陈佳品
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 毫米级 全方位 移动机器人 微装配
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳操作装配及微电池技术
• 页码范围: 1223-1225
• 页数: 3页
• 分类号: TP242.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.001

摘要

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成.微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性.机器人使用了4个直径3mrn电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源.基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩.由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件.通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°.微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0～0.3mm.微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm.