微电子机械系统的发展与应用

• 作者: 王宏颖 胡雪梅
• 来源期刊: 西安航空技术高等专科学校学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微加工技术 封装技术 应用领域
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 电子技术与应用
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TH39|TN409
• 字数: 4226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-9233.2006.03.009

摘要

在介绍了微电子机械系统的起源和特点的基础上,对微电子机械系统的加工、封装测试、及应用进行了较全面的论述,提出和展望了其广阔的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宏颖	河南工业职业技术学院电气工程系	60	175	7.0	10.0
2	胡雪梅	河南工业职业技术学院电气工程系	66	325	11.0	15.0