基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究

• 作者: 于同敏 刘冲 刘海军 杜立群 秦江
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶 微注塑模具
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2174字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法--无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的.讨论了SU-8胶与基底的结合特性以及几种去除SU-8胶的有效方法,所制作的微注塑模具已用于微注塑加工中.无背板生长工艺的突出优点是微电铸时间短、模具质量高,而且还适合于制作其他微机械组件,是目前MEMS领域中比较有发展前途的加工方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于同敏	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	107	915	16.0	23.0
2	杜立群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
3	刘冲	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	156	1345	17.0	30.0
4	刘海军	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	16	371	12.0	16.0
5	秦江	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	5	89	4.0	5.0